提要 | 第1-7页 |
第1章 绪论 | 第7-12页 |
·微透镜简介 | 第7页 |
·微透镜的应用 | 第7-9页 |
·提升图像传感器的填充系数以及有机电致发光器件的效率 | 第7-8页 |
·改变激光束的光强分布 | 第8页 |
·微扫描器 | 第8-9页 |
·微透镜的制备方法以及遇到的困难 | 第9-10页 |
·灰度光刻法 | 第9页 |
·光刻胶热熔法和液滴喷溅法 | 第9-10页 |
·离子交换法 | 第10页 |
·本文的研究意义及主要内容 | 第10-12页 |
·研究意义 | 第10页 |
·本文主要研究内容 | 第10-12页 |
第2章 飞秒激光加工的特点、基本原理和方法 | 第12-19页 |
·飞秒激光的特点 | 第12页 |
·飞秒激光在加工中的应用 | 第12-16页 |
·激光烧蚀 | 第13页 |
·双光子聚合基本原理 | 第13-16页 |
·飞秒激光加工系统简介 | 第16-17页 |
·加工系统搭建与调试的技术要求 | 第17-19页 |
第3章 微透镜的制备 | 第19-38页 |
·加工参数 | 第19-23页 |
·光刻胶 | 第19-21页 |
·物镜 | 第21-23页 |
·逐点扫描加工微透镜 | 第23-25页 |
·非球面微透镜的加工 | 第25-27页 |
·改进加工方法 | 第27-33页 |
·增大点、线间距,降低点云密度 | 第27-29页 |
·加工透镜的外壳 | 第29-31页 |
·提高加工精度的尝试 | 第31-33页 |
·微透镜成像测试 | 第33-38页 |
·不同表面形貌微透镜成像效果对比 | 第34-35页 |
·半径200m微透镜的成像测试 | 第35-36页 |
·与发散角10°的激光相匹配的微透镜测试 | 第36-38页 |
第4章 应用展望 | 第38-42页 |
第5章 结论 | 第42-44页 |
参考文献 | 第44-46页 |
致谢 | 第46-47页 |
摘要 | 第47-49页 |
Abstract | 第49-50页 |