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双光子聚合加工非球面微透镜的研究

提要第1-7页
第1章 绪论第7-12页
   ·微透镜简介第7页
   ·微透镜的应用第7-9页
     ·提升图像传感器的填充系数以及有机电致发光器件的效率第7-8页
     ·改变激光束的光强分布第8页
     ·微扫描器第8-9页
   ·微透镜的制备方法以及遇到的困难第9-10页
     ·灰度光刻法第9页
     ·光刻胶热熔法和液滴喷溅法第9-10页
     ·离子交换法第10页
   ·本文的研究意义及主要内容第10-12页
     ·研究意义第10页
     ·本文主要研究内容第10-12页
第2章 飞秒激光加工的特点、基本原理和方法第12-19页
   ·飞秒激光的特点第12页
   ·飞秒激光在加工中的应用第12-16页
     ·激光烧蚀第13页
     ·双光子聚合基本原理第13-16页
   ·飞秒激光加工系统简介第16-17页
   ·加工系统搭建与调试的技术要求第17-19页
第3章 微透镜的制备第19-38页
   ·加工参数第19-23页
     ·光刻胶第19-21页
     ·物镜第21-23页
   ·逐点扫描加工微透镜第23-25页
   ·非球面微透镜的加工第25-27页
   ·改进加工方法第27-33页
     ·增大点、线间距,降低点云密度第27-29页
     ·加工透镜的外壳第29-31页
     ·提高加工精度的尝试第31-33页
   ·微透镜成像测试第33-38页
     ·不同表面形貌微透镜成像效果对比第34-35页
     ·半径200m微透镜的成像测试第35-36页
     ·与发散角10°的激光相匹配的微透镜测试第36-38页
第4章 应用展望第38-42页
第5章 结论第42-44页
参考文献第44-46页
致谢第46-47页
摘要第47-49页
Abstract第49-50页

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