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双光子聚合加工微纳结构的收缩特性及补偿方法研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-21页
    1.1 课题背景及研究的目的和意义第9-11页
    1.2 国内外研究现状第11-20页
        1.2.1 影响微纳结构收缩的因素第11-14页
        1.2.2 解决微纳结构收缩的方法第14-20页
    1.3 本文的主要研究内容第20-21页
第2章 双光子聚合加工微纳结构收缩影响因素及补偿模型建立第21-33页
    2.1 双光子聚合加工微纳结构收缩的原理第21-23页
        2.1.1 飞秒激光双光子自由基聚合机理第21-22页
        2.1.2 双光子聚合时分子间距离的改变第22-23页
        2.1.3 聚合分子规律性的提高第23页
    2.2 双光子聚合加工微纳结构收缩的影响因素第23-31页
        2.2.1 加工参数的影响第23-25页
        2.2.2 加工过程的影响第25-29页
        2.2.3 加工结构高度的影响第29-31页
    2.3 微纳结构收缩的补偿模型建立第31-32页
    2.4 本章小结第32-33页
第3章 聚合微纳结构的不均匀收缩研究第33-51页
    3.1 分子动力学模拟理论基础第33-35页
    3.2 SiO_2基底分子模型的建立第35-37页
        3.2.1 SiO_2晶胞(012)面的切割第35-36页
        3.2.2 构建SiO_2(012)面晶胞结构模型第36-37页
    3.3 聚合微纳结构分子模型的建立第37-45页
        3.3.1 微纳结构的聚合原理第37-39页
        3.3.2 聚合微纳结构的建立第39-43页
        3.3.3 聚合微纳结构的力学性能分析第43-45页
    3.4 聚合微纳结构与基底界面结构分子动力学模拟第45-50页
        3.4.1 构建界面结构模型第45-46页
        3.4.2 界面结构的分子动力学模拟第46-47页
        3.4.3 界面结合能的分析计算第47-50页
    3.5 本章小结第50-51页
第4章 均匀三维木堆结构的制备及结构补偿第51-63页
    4.1 实验研究第51-58页
        4.1.1 双光子聚合加工实验装置第51-52页
        4.1.2 双光子聚合加工实验材料第52-56页
        4.1.3 三维木堆结构的制备第56-58页
    4.2 木堆结构收缩特性的研究第58-59页
    4.3 均匀木堆结构的制备及补偿方法第59-62页
    4.4 本章小结第62-63页
第5章 结论第63-65页
    5.1 总结第63-64页
    5.2 展望第64-65页
致谢第65-66页
参考文献第66-73页
作者简介第73-74页
攻读硕士学位期间研究成果第74页

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