| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 太赫兹检测器简介 | 第9-16页 |
| 1.1.1 太赫兹波简介 | 第9-10页 |
| 1.1.2 太赫兹检测器发展现状 | 第10-12页 |
| 1.1.3 Nb_5N_6常温太赫兹检测器介绍 | 第12-16页 |
| 1.2 SNSPD简介 | 第16-23页 |
| 1.2.1 SNSPD工作原理 | 第16-18页 |
| 1.2.2 SNSPD基本性能参数 | 第18-20页 |
| 1.2.3 串联SNSPD | 第20-22页 |
| 1.2.4 SNSPD读出现状 | 第22-23页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第23-24页 |
| 第二章 常温太赫兹阵列检测器低噪声读出电路研究 | 第24-41页 |
| 2.1 电路目标参数分析 | 第24-25页 |
| 2.2 电路设计 | 第25-28页 |
| 2.3 电路测量表征 | 第28-37页 |
| 2.3.1 ROIC芯片概况 | 第28-29页 |
| 2.3.2 增益 | 第29-32页 |
| 2.3.3 噪声 | 第32-34页 |
| 2.3.4 串扰 | 第34-37页 |
| 2.4 Nb_5N_6太赫兹检测器与读出电路互连测试及成像 | 第37-40页 |
| 2.4.1 互连测试计算NEP | 第37页 |
| 2.4.2 成像实验装置 | 第37-38页 |
| 2.4.3 扫描成像 | 第38-40页 |
| 2.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 低温SNSPD低噪声读出电路研究 | 第41-58页 |
| 3.1 电路基本指标 | 第41-42页 |
| 3.2 电路设计 | 第42-44页 |
| 3.3 电路测试 | 第44-51页 |
| 3.3.1 常温测试结果 | 第44-47页 |
| 3.3.2 低温测试结果 | 第47-51页 |
| 3.4 串联SNSPD与读出电路互连测试 | 第51-57页 |
| 3.4.1 SNSPD的I-V曲线测试 | 第51-52页 |
| 3.4.2 SNSPD与低温电路互连方式 | 第52-54页 |
| 3.4.3 互连脉冲测试 | 第54-57页 |
| 3.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第四章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 4.1 总结 | 第58页 |
| 4.2 展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 硕士期间研究成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |