激光多焦点加工系统研制及分离脆性透明材料研究

摘要	第4-5页
Abstract	第5-6页
1 绪论	第9-22页
1.1 课题背景及研究的目的、意义	第9-10页
1.2 机械切割脆性材料	第10-11页
1.3 激光切割脆性材料	第11-16页
1.4 激光切割脆性材料特殊方法	第16-20页
1.5 本论文的研究内容及研究路线	第20-22页
2 激光多焦点加工系统整体设计方案	第22-30页
2.1 光学系统的设计思路及工作原理	第22-24页
2.2 光学系统的研制方案	第24-27页
2.3 激光多焦点衍生系统的设计方案	第27-29页
2.4 本章小结	第29-30页
3 激光多焦点加工系统光学设计及分析	第30-46页
3.1 激光多焦点系统的光学设计分析	第30-32页
3.2 光学系统的设计实现	第32-36页
3.3 系统设计实例验证与分析	第36-42页
3.4 影响激光多焦点系统性能因素分析	第42-45页
3.5 本章小结	第45-46页
4 激光多焦点热裂脆性材料理论研究	第46-54页
4.1 聚焦激光在脆性材料中的传输特性研究	第46-50页
4.2 脆性材料断裂力学基础理论	第50-53页
4.3 本章小结	第53-54页
5 激光多焦点加工系统分离脆性材料实验研究	第54-67页
5.1 实验材料性质及准备	第54-56页
5.2 激光多焦点加工系统	第56-58页
5.3 激光多焦点分离 K9 玻璃实验研究	第58-63页
5.4 激光多焦点分离 KDP 晶体实验研究	第63-66页
5.5 本章小结	第66-67页
6 全文总结与展望	第67-69页
6.1 主要结论	第67-68页
6.2 研究展望	第68-69页
致谢	第69-70页
参考文献	第70-74页
附录 1 攻读硕士学位期间发表论文目录	第74页