| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题来源及研究目的与意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-13页 |
| 1.3 本文的研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 Sigma-delta数字加速度计的噪声分析 | 第14-37页 |
| 2.1 闭环ΣΔ数字加速度计概述 | 第14-15页 |
| 2.2 机械噪声 | 第15-16页 |
| 2.3 信号检测电路噪声 | 第16-22页 |
| 2.3.1 寄生电阻热噪声 | 第17-18页 |
| 2.3.2 驱动电压源噪声 | 第18页 |
| 2.3.3 开关热噪声 | 第18-20页 |
| 2.3.4 前级运算放大器噪声 | 第20-22页 |
| 2.4 相关双采样电路噪声 | 第22-26页 |
| 2.4.1 相关双采样原理 | 第22-23页 |
| 2.4.2 噪声折叠效应 | 第23-26页 |
| 2.4.2.1 折叠热噪声 | 第24-25页 |
| 2.4.2.2 折叠闪烁噪声 | 第25-26页 |
| 2.4.2.3 总折叠噪声 | 第26页 |
| 2.5 积分器噪声 | 第26-28页 |
| 2.6 量化噪声 | 第28-34页 |
| 2.6.1 Sigma-delta调制技术 | 第28-31页 |
| 2.6.1.1 过采样技术 | 第28-30页 |
| 2.6.1.2 噪声整形技术 | 第30-31页 |
| 2.6.2 1-bit量化器的准线性模型 | 第31-32页 |
| 2.6.3 基于准线性模型的量化噪声分析 | 第32-34页 |
| 2.7 噪声源的相互作用 | 第34-36页 |
| 2.7.1 电学噪声 | 第34-36页 |
| 2.7.2 机械噪声 | 第36页 |
| 2.8 本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 Sigma-delta数字加速度计的系统级优化设计 | 第37-53页 |
| 3.1 等效五阶闭环Sigma Delta数字加速度计芯片的噪声计算 | 第37-41页 |
| 3.2 芯片测试环境 | 第41-42页 |
| 3.3 芯片测试结果 | 第42-43页 |
| 3.4 加速度计结构的优化设计 | 第43-46页 |
| 3.5 主要噪声源的系统级模型 | 第46-50页 |
| 3.5.1 开关热噪声 | 第47-48页 |
| 3.5.2 折叠热噪声 | 第48-49页 |
| 3.5.3 缓冲器噪声 | 第49-50页 |
| 3.6 带主要噪声源的加速度计行为级仿真 | 第50-52页 |
| 3.7 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 Sigma-delta数字加速度计的电路模块设计 | 第53-68页 |
| 4.1 表头机械敏感结构 | 第53-54页 |
| 4.2 电荷放大器 | 第54-59页 |
| 4.3 相关双采样电路 | 第59-60页 |
| 4.4 电学调制器 | 第60-62页 |
| 4.5 前馈求和电路 | 第62-64页 |
| 4.6 相位补偿电路 | 第64-65页 |
| 4.7 量化器 | 第65-67页 |
| 4.8 本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 Sigma-delta数字加速度计电路系统的仿真分析 | 第68-71页 |
| 5.1 加速度计整体电路仿真 | 第68-70页 |
| 5.2 加速度计闭环输出频谱 | 第70页 |
| 5.3 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
