超声膜厚测量方法及测量系统的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 图表清单 | 第9-12页 |
| 注释表 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-20页 |
| 1.1 研究背景 | 第13-14页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第14-18页 |
| 1.2.1 电学测量法 | 第14-15页 |
| 1.2.2 电磁测量法 | 第15-16页 |
| 1.2.3 光学测量法 | 第16-17页 |
| 1.2.4 机械量间接测量法 | 第17页 |
| 1.2.5 超声波测量法 | 第17-18页 |
| 1.3 本文的研究目标与主要内容 | 第18-20页 |
| 第二章 超声膜厚测量模型 | 第20-30页 |
| 2.1 超声波基本知识 | 第20-23页 |
| 2.1.1 超声波分类 | 第20-22页 |
| 2.1.2 声压 | 第22页 |
| 2.1.3 声速 | 第22-23页 |
| 2.1.4 声阻抗与特性阻抗 | 第23页 |
| 2.2 声波在分界面处的传播 | 第23-25页 |
| 2.3 中间层的反射系数 | 第25-29页 |
| 2.3.1 共振模型 | 第25-27页 |
| 2.3.2 弹簧模型 | 第27-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 用于膜厚测量的换能器研究 | 第30-46页 |
| 3.1 压电换能器基础知识 | 第30-32页 |
| 3.1.1 压电效应 | 第30-31页 |
| 3.1.2 压电陶瓷 | 第31页 |
| 3.1.3 压电材料的主要性能参数 | 第31-32页 |
| 3.2 压电换能器探头研究 | 第32-34页 |
| 3.2.1 压电换能器探头的结构 | 第32-33页 |
| 3.2.2 压电换能器探头的分类 | 第33-34页 |
| 3.3 压电换能器声场分析 | 第34-41页 |
| 3.3.1 圆形压电振子声场分析 | 第35-39页 |
| 3.3.1.1 声场声压 | 第35-38页 |
| 3.3.1.2 声场指向性 | 第38-39页 |
| 3.3.2 矩形压电振子声场分析 | 第39-41页 |
| 3.3.2.1 声场声压 | 第39-40页 |
| 3.3.2.2 声场指向性 | 第40-41页 |
| 3.4 换能器阵声场分析 | 第41-45页 |
| 3.4.1 均匀线列阵声场分析 | 第41-42页 |
| 3.4.2 圆形压电换能器线阵列声场分析 | 第42-45页 |
| 3.4.3 矩形换能器组合平面阵声场分析 | 第45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 超声膜厚测量系统的设计方案 | 第46-49页 |
| 4.1 测量系统的功能要求 | 第46页 |
| 4.2 测量系统总体设计 | 第46-48页 |
| 4.2.1 超声膜厚测量系统电路总体设计 | 第47-48页 |
| 4.2.2 超声膜厚测量系统程序总体设计 | 第48页 |
| 4.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 超声膜厚测量系统的电路及程序设计 | 第49-62页 |
| 5.1 超声膜厚测量电路 | 第49-59页 |
| 5.1.1 超声波发射电路 | 第49-56页 |
| 5.1.1.1 脉冲发生电路 | 第49-52页 |
| 5.1.1.2 放大电路 | 第52-54页 |
| 5.1.1.3 场效应管驱动电路 | 第54-55页 |
| 5.1.1.4 超声波激励电路 | 第55-56页 |
| 5.1.2 超声波接收电路 | 第56-58页 |
| 5.1.2.1 限幅电路 | 第57页 |
| 5.1.2.2 放大电路 | 第57-58页 |
| 5.1.3 模/数数据采集卡 | 第58-59页 |
| 5.2 数据处理程序 | 第59-61页 |
| 5.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 超声油膜厚度测量实验 | 第62-70页 |
| 6.1 夹具设计和被测膜厚的建立 | 第62-63页 |
| 6.2 实验仪器设备的选择 | 第63-64页 |
| 6.3 超声油膜厚度测量实验的研究 | 第64-69页 |
| 6.3.1 反射系数的测量方法 | 第65页 |
| 6.3.2 基于共振模型的膜厚测量实验 | 第65-67页 |
| 6.3.3 基于弹簧模型的膜厚测量实验 | 第67-69页 |
| 6.3.4 实验结果分析 | 第69页 |
| 6.4 本章小结 | 第69-70页 |
| 第七章 总结与展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第76页 |
