| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第13-19页 |
| 1.1 概述 | 第13-14页 |
| 1.2 传感器测量测量特点 | 第14页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第14-16页 |
| 1.4 本课题研究的意义 | 第16页 |
| 1.5 本文的主要内容 | 第16-19页 |
| 第2章 系统的构成 | 第19-25页 |
| 2.1 激光位移传感器系统的构成 | 第19页 |
| 2.2 激光位移传感器测量的原理 | 第19-25页 |
| 2.2.1 斜射式 | 第19-21页 |
| 2.2.2 直射式 | 第21-22页 |
| 2.2.3 分辨率 | 第22页 |
| 2.2.4 测量方式的比较分析 | 第22-23页 |
| 2.2.5 Scheimpflug条件的理论推导 | 第23-25页 |
| 第3章 光学系统的设计 | 第25-63页 |
| 3.1 光学系统的性能参数 | 第25-27页 |
| 3.1.1 焦距 | 第25-26页 |
| 3.1.2 光学系统的视场 | 第26-27页 |
| 3.1.3 光学系统的相对孔径 | 第27页 |
| 3.2 光学系统的像差及评价体系 | 第27-33页 |
| 3.2.1 球差 | 第28页 |
| 3.2.2 彗差 | 第28-29页 |
| 3.2.3 像散 | 第29-30页 |
| 3.2.4 场曲 | 第30-31页 |
| 3.2.5 畸变 | 第31页 |
| 3.2.6 色差 | 第31-33页 |
| 3.3 光学系统像差评定 | 第33-40页 |
| 3.3.1 散斑点列图(Spot Diagram) | 第33-34页 |
| 3.3.2 射线图 | 第34-35页 |
| 3.3.3 光学传递函数(MTF) | 第35-40页 |
| 3.4 激光准直光学系统的设计 | 第40-53页 |
| 3.4.1 半导体激光器的效率 | 第40-41页 |
| 3.4.2 半导体激光器的远场特性 | 第41-44页 |
| 3.4.3 激光准直光学系统的设计 | 第44-53页 |
| 3.5 光学成像系统的设计 | 第53-63页 |
| 3.5.1 光学成像系统参数设计 | 第54-58页 |
| 3.5.2 光学成像系统结构的设计 | 第58-61页 |
| 3.5.3 光学系统成像质量对激光位移传感器探测精度的影响分析 | 第61-63页 |
| 第4章 微控制系统图像数据采集与处理 | 第63-89页 |
| 4.1 CCD工作的原理 | 第63-70页 |
| 4.1.1 光电转换 | 第63-64页 |
| 4.1.2 电荷的存储 | 第64-65页 |
| 4.1.3 电荷的转移 | 第65-67页 |
| 4.1.4 电荷的检测 | 第67-70页 |
| 4.2 CCD工作的特性参数 | 第70-73页 |
| 4.2.1 CCD的量子效率 | 第70-71页 |
| 4.2.2 CCD噪声 | 第71-72页 |
| 4.2.3 CCD的信噪比(SNR) | 第72-73页 |
| 4.2.4 CCD的动态范围 | 第73页 |
| 4.3 TCD1707D器件构造及其特性参数 | 第73-77页 |
| 4.3.1 TCD1707D的基本结构 | 第73-74页 |
| 4.3.2 TCD1707D的工作原理 | 第74-76页 |
| 4.3.3 TCD1707D光谱响应特性 | 第76-77页 |
| 4.4 图像光斑提取 | 第77-89页 |
| 4.4.1 光斑图像滤波 | 第77-82页 |
| 4.4.2 光斑质心提取 | 第82-84页 |
| 4.4.3 光斑质心提取分析 | 第84-89页 |
| 第5章 测量实验分析 | 第89-95页 |
| 5.1 实验测量装置 | 第89页 |
| 5.2 实验数据测量与分析 | 第89-93页 |
| 5.3 测量系统的误差分析 | 第93-95页 |
| 第6章 总结与展望 | 第95-97页 |
| 6.1 总结 | 第95-96页 |
| 6.2 展望 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-101页 |
| 致谢 | 第101-103页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第103页 |