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新型集电区场板结构SiGe HBT器件特性与机理研究

摘要第3-4页
abstract第4-5页
1 绪论第8-12页
    1.1 研究背景与意义第8页
    1.2 国内外发展现状第8-10页
    1.3 论文研究内容第10-12页
2 SiGeHBT的基本工作原理第12-22页
    2.1 SiGe材料的基本性质第12-14页
        2.1.1 晶体结构第12-13页
        2.1.2 临界厚度第13页
        2.1.3 能带结构第13-14页
    2.2 SiGe异质结的性质第14-16页
    2.3 SiGeHBT的电学特性第16-20页
        2.3.1 直流特性第16-17页
        2.3.2 交流特性第17-20页
    2.4 本章小结第20-22页
3 新型集电区场板结构SiGeHBT第22-40页
    3.1 器件结构与机理分析第22-24页
    3.2 直流特性第24-34页
        3.2.1 Gummel特性第24-31页
        3.2.2 输出特性第31-34页
    3.3 频率特性第34-39页
    3.4 本章小结第39-40页
4 新型集电区场板结构SiGeHBT器件优化设计第40-50页
    4.1 场板尺寸变化对电流增益的影响第40-42页
    4.2 场板尺寸变化对频率特性的影响第42-48页
        4.2.1 场板宽度的优化第42-45页
        4.2.2 场板长度的优化第45-48页
    4.3 本章小结第48-50页
5 多指发射极SiGeHBT器件特性分析第50-56页
    5.1 多指发射极SiGeHBT器件结构第50-51页
    5.2 多指结构电学特性第51-55页
        5.2.1 直流特性第51-53页
        5.2.2 频率特性第53-54页
        5.2.3 指间距对器件电学特性的影响第54-55页
    5.3 本章小结第55-56页
6 总结与展望第56-58页
    6.1 工作总结第56页
    6.2 展望第56-58页
致谢第58-60页
参考文献第60-62页

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