多晶硅生产中尾气回收工艺研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 多晶硅的制备方法 | 第10-13页 |
| 1.2.1 硅烷法制备多晶硅 | 第10-11页 |
| 1.2.2 流化床法制备多晶硅 | 第11-12页 |
| 1.2.3 西门子法生产多晶硅 | 第12-13页 |
| 1.2.4 多晶硅生产方法的比较 | 第13页 |
| 1.3 改良西门子法生产工艺的发展历史 | 第13-15页 |
| 1.4 国内外多晶硅生产现状 | 第15-17页 |
| 1.4.1 国内外多晶硅生产现况 | 第15-16页 |
| 1.4.2 国内外多晶硅生产技术对比 | 第16-17页 |
| 1.5 高纯氢气净化技术 | 第17-19页 |
| 1.5.1 电解氢气 | 第17-18页 |
| 1.5.2 膜过滤 | 第18-19页 |
| 1.5.3 吸附法 | 第19页 |
| 1.6 课题研究目的及主要内容 | 第19-21页 |
| 1.6.1 课题研究的目的及意义 | 第19-20页 |
| 1.6.2 吸收塔的吸收效果的研究 | 第20页 |
| 1.6.3 尾气回收系统流程优化模拟及改造 | 第20-21页 |
| 第2章 化工工程模拟软件与尾气回收工艺流程 | 第21-27页 |
| 2.1 化工过程模拟 | 第21-22页 |
| 2.2 PROⅡ件介绍 | 第22-24页 |
| 2.3 尾气回收工艺流程 | 第24-27页 |
| 第3章 吸收塔吸收效果的研究 | 第27-41页 |
| 3.1 吸收液组成对氢气品质的影响 | 第27-40页 |
| 3.1.1 收塔吸收效果模拟 | 第27-29页 |
| 3.1.2 吸收塔优化模拟——吸收液组分 | 第29-33页 |
| 3.1.3 吸收塔优化模拟——吸收液温度 | 第33-36页 |
| 3.1.4 吸收塔优化模拟——吸收塔压力 | 第36-40页 |
| 3.2 小结 | 第40-41页 |
| 第4章 尾气回收系统流程优化模拟及改造 | 第41-57页 |
| 4.1 夹点技术 | 第41-42页 |
| 4.2 改造前工艺流程 | 第42-48页 |
| 4.2.1 尾气干法回收装置用能分布 | 第42页 |
| 4.2.2 尾气干法回收装置用能分析 | 第42-48页 |
| 4.3 尾气干法回收系统改造 | 第48-55页 |
| 4.3.1 尾气干法回收系统低压冷凝区系统改造 | 第48-53页 |
| 4.3.2 改进后工艺流程 | 第53-55页 |
| 4.4 小结 | 第55-57页 |
| 第5章 结论与展望 | 第57-59页 |
| 5.1 结论 | 第57-58页 |
| 5.2 展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
