| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 光开关的研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 光开关的分类 | 第12-14页 |
| 1.3 电光开关的研究进展 | 第14-16页 |
| 1.4 本论文的主要工作及创新点 | 第16-18页 |
| 第二章 聚合物平面波导电光开关的理论基础 | 第18-27页 |
| 2.1 光波导模式理论基础 | 第18-23页 |
| 2.1.1 三层平板波导的特征方程 | 第18-20页 |
| 2.1.2 脊型波导的特征方程 | 第20-22页 |
| 2.1.3 加载条形波导的特征方程 | 第22-23页 |
| 2.2 MZI 型聚合物电光开关的工作原理 | 第23-25页 |
| 2.3 材料体系的选取 | 第25-27页 |
| 第三章 基于 CPW 电极的 MZI 型电光开关的制备 | 第27-46页 |
| 3.1 聚合物材料的基本特性 | 第27-28页 |
| 3.2 基于 CPW 电极的 MZI 型准矩形电光开关的制备 | 第28-35页 |
| 3.2.1 材料的选取及合成 | 第28-29页 |
| 3.2.2 电光材料的表征 | 第29-30页 |
| 3.2.3 器件的制备及性能测试 | 第30-35页 |
| 3.3 基于 CPW 电极的 MZI 倒脊型电光开关的制备 | 第35-46页 |
| 3.3.1 材料体系的特性表征 | 第35-36页 |
| 3.3.2 器件尺寸的优化 | 第36-38页 |
| 3.3.3 NOA73 凹槽的刻蚀 | 第38-43页 |
| 3.3.4 器件的制备及测试 | 第43-46页 |
| 第四章 基于 MSL 电极的 MZI 型电光开关的制备 | 第46-62页 |
| 4.1 MSL 电极结构合金下电极的制备 | 第47-55页 |
| 4.1.1 合金的制备 | 第48-49页 |
| 4.1.2 合金样品的的表征 | 第49-55页 |
| 4.2 微波探针的制备 | 第55-56页 |
| 4.3 器件的制备与测试 | 第56-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 作者简介及科研成果 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
