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提高电子显微镜能谱分辨率的方法研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第15-27页
    1.1 扫描电子显微镜(SEM)概述第15-19页
        1.1.1 电子束与试样的交互作用第15-17页
        1.1.2 扫描电子显微镜的结构第17-18页
        1.1.3 扫描电子显微镜的原理第18-19页
        1.1.4 二次电子的特点第19页
    1.2 能量色散谱仪(EDS)概述第19-27页
        1.2.1 能量色散谱仪的结构第19-20页
        1.2.2 能量色散谱仪的原理第20页
        1.2.3 X射线的概述第20-21页
            1.2.3.1 X射线的本质第20页
            1.2.3.2 X射线的产生原理第20-21页
            1.2.3.3 X射线的性质第21页
        1.2.4 能量色散谱仪成分分析的特点第21页
        1.2.5 能谱分析技术的发展第21-22页
        1.2.6 能谱分析的区域第22页
        1.2.7 空间分辨率第22-23页
        1.2.8 与能谱分析相关的参数设定第23-25页
            1.2.8.1 工作距离的设定第23-24页
            1.2.8.2 加速电压的设定第24页
            1.2.8.3 电子束束流的设定第24-25页
        1.2.9 本文研究背景和意义第25-27页
第二章 覆碳膜打孔碳棒的制作第27-35页
    2.1 实验仪器和材料第27页
    2.2 打孔碳棒的制作第27-33页
        2.2.1 碳棒表面打孔第27-30页
        2.2.2 碳膜的制作第30-31页
        2.2.3 装置的最终成型第31-32页
        2.2.4 碳膜的支撑力度考察第32-33页
    2.3 新装置在分析结构上的不同第33-35页
第三章 纳米颗粒溶液的制备第35-42页
    3.1 纳米颗粒的团聚第35页
    3.2 纳米颗粒的团聚机理第35-36页
    3.3 纳米颗粒的分散原理第36页
    3.4 纳米纳米颗粒的分散方法第36-38页
        3.4.1 机械作用分散法第36-37页
        3.4.2 调节pH值第37页
        3.4.3 静电抗团聚法第37页
        3.4.4 冷冻干燥粉末分散法第37页
        3.4.5 利用无机物对纳米颗粒表面进行改性第37页
        3.4.6 利用有机物对纳米颗粒表面进行改性第37-38页
        3.4.7 有机-无机复合改性纳米颗粒第38页
    3.5 实验中使用到的纳米颗粒及其性质第38-39页
    3.6 纳米颗粒的分散步骤第39-42页
第四章 实验部分第42-70页
    4.1 HORIBA能谱仪简介第42-43页
    4.2 克服电子图像的漂移现象第43-44页
    4.3 实验参数的选择第44-45页
        4.3.1 扫描电子显微镜参数设置第44页
        4.3.2 能谱仪参数设置第44-45页
    4.4 实验结果及讨论第45-70页
        4.4.1 三氧化二铬(Cr2O3)-碳酸钙(CaCO3)混合纳米颗粒元素面分布结果第45-51页
            4.4.1.1 硅片对照实验第45-47页
            4.4.1.2 碳棒对照实验第47-49页
            4.4.1.3 覆碳膜打孔碳棒实验第49-51页
        4.4.2 三氧化二铬(Cr2O3)-二氧化钛(TiO2)混合纳米颗粒元素面分布结果第51-57页
            4.4.2.1 硅片对照实验第51-53页
            4.4.2.2 碳棒对照实验第53-55页
            4.4.2.3 覆碳膜打孔碳棒实验第55-57页
        4.4.3 二氧化钛(TiO2)-氧化锌(ZnO)混合纳米颗粒元素面分布结果第57-63页
            4.4.3.1 硅片对照实验第57-59页
            4.4.3.2 碳棒对照实验第59-61页
            4.4.3.3 覆碳膜打孔碳棒实验第61-63页
        4.4.4 三氧化二铬(Cr2O3)-二氧化钛(TiO2)-氧化锌(ZnO)混合纳米颗粒元素面分布结果第63-70页
            4.4.4.1 硅片对照实验第63-65页
            4.4.4.2 碳棒对照实验第65-67页
            4.4.4.3 覆碳膜打孔碳棒实验第67-70页
第五章 评价能谱空间分辨率的依据第70-83页
    5.1 评价方法第70页
    5.2 实验结果第70-82页
        5.2.1 三氧化二铬(Cr2O3)-二氧化钛(TiO2)混合纳米颗粒碳棒实验第70-73页
        5.2.2 三氧化二铬(Cr2O3)-二氧化钛(TiO2)混合纳米颗粒覆碳膜打孔碳棒实验第73-76页
        5.2.3 二氧化钛(TiO2)-氧化锌(ZnO)混合纳米颗粒碳棒实验第76-79页
        5.2.4 二氧化钛(TiO2)-氧化锌(ZnO)混合纳米颗粒覆碳膜打孔碳棒实验第79-82页
    5.3 实验结论第82-83页
参考文献第83-86页
致谢第86-87页
作者和导师简介第87-88页
附件第88-89页

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