硬质合金表面沉积Ti-Si-C涂层的基础研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 注释表 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 硬质合金的应用 | 第13-14页 |
| 1.3 硬质合金表面强化技术 | 第14-16页 |
| 1.3.1 离子束辐照 | 第14页 |
| 1.3.2 强流脉冲荷电离子束技术 | 第14-15页 |
| 1.3.3 离子注入 | 第15页 |
| 1.3.4 激光处理 | 第15-16页 |
| 1.4 硬质合金涂层 | 第16-20页 |
| 1.4.1 硬质合金涂层的发展与现状 | 第16-18页 |
| 1.4.2 硬质合金涂层的制备方法 | 第18-20页 |
| 1.5 Ti-Si-C涂层 | 第20-22页 |
| 1.5.1 Ti-Si-C涂层的特点 | 第20-21页 |
| 1.5.2 Ti-Si-C涂层的发展现状及应用 | 第21-22页 |
| 1.6 研究的意义和内容 | 第22-23页 |
| 第二章 实验条件及测试方法 | 第23-32页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 实验材料的选择 | 第23-24页 |
| 2.3 实验设备的改造 | 第24-29页 |
| 2.3.1 实验设备 | 第24-25页 |
| 2.3.2 实验设备改造的要求和改造内容 | 第25-26页 |
| 2.3.3 设备气路的改造设计 | 第26-29页 |
| 2.3.4 实验所需各设备 | 第29页 |
| 2.4 涂层性能的评价方法 | 第29-31页 |
| 2.4.1 表面形貌 | 第29-30页 |
| 2.4.2 渗层成分与物相 | 第30页 |
| 2.4.3 渗层的硬度 | 第30页 |
| 2.4.4 涂层的膜基结合性能 | 第30-31页 |
| 2.4.5 涂层的摩擦磨损性能 | 第31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章Ti-Si-C涂层热应力分析及结构设计 | 第32-47页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 涂层中的残余应力 | 第32-33页 |
| 3.2.1 残余应力的产生 | 第32页 |
| 3.2.2 热应力及本征应力 | 第32-33页 |
| 3.3 热应力的计算理论 | 第33-36页 |
| 3.3.1 有限元分析简介 | 第33页 |
| 3.3.2 三种传热方式 | 第33-34页 |
| 3.3.3 Ti-Si-C涂层热应力计算 | 第34-36页 |
| 3.4 仿真模型的建立 | 第36-39页 |
| 3.5 热应力分析及结构设计 | 第39-46页 |
| 3.5.1 衬底传热对热应力的影响 | 第39-41页 |
| 3.5.2 涂层厚度对热应力的影响 | 第41-43页 |
| 3.5.3 沉积温度对热应力的影响 | 第43-44页 |
| 3.5.4 涂层成分对热应力的影响 | 第44-46页 |
| 3.5.5 热应力角度的涂层结构参数的选择 | 第46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 硬质合金基体Ti-Si-C涂层制备工艺 | 第47-69页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 HFCVD法Ti-Si-C涂层的制备原理 | 第47-48页 |
| 4.3 Ti-Si-C涂层的制备实验 | 第48-50页 |
| 4.3.1 硬质合金基体表面预处理 | 第48页 |
| 4.3.2 热丝的选择和预处理 | 第48-49页 |
| 4.3.3 实验步骤和流程 | 第49-50页 |
| 4.4 实验结果与分析 | 第50-68页 |
| 4.4.1 沉积温度的影响 | 第50-57页 |
| 4.4.2 沉积气压的影响 | 第57-62页 |
| 4.4.3 TMS流量的影响 | 第62-68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 5.1 总结 | 第69-70页 |
| 5.2 展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第77页 |
