微定位系统设计与控制方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-22页 |
| 1.1 研究的意义与项目背景 | 第8-9页 |
| 1.2 微定位系统的构成 | 第9-15页 |
| 1.2.1 微定位系统的结构组成 | 第9-10页 |
| 1.2.2 微位移驱动器 | 第10-12页 |
| 1.2.3 微位移执行机构 | 第12-13页 |
| 1.2.4 微位移检测机构 | 第13-14页 |
| 1.2.5 控制系统 | 第14-15页 |
| 1.3 国内外的研究现状 | 第15-20页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 二维微定位平台的设计与性能分析 | 第22-42页 |
| 2.1 概述 | 第22页 |
| 2.2 直角剖面柔性铰链 | 第22-30页 |
| 2.2.1 柔性铰链 | 第22-23页 |
| 2.2.2 直角剖面柔性铰链的性能分析 | 第23-25页 |
| 2.2.3 单平行机构 | 第25-26页 |
| 2.2.4 双平行四杆机构 | 第26-28页 |
| 2.2.5 双平行导向机构 | 第28-30页 |
| 2.2.6 三种不同导向机构的性能对比 | 第30页 |
| 2.3 二维微定位平台的结构设计 | 第30-33页 |
| 2.4 二维微定位平台的有限元分析 | 第33-37页 |
| 2.5 二维微定位平台动力学实验 | 第37-41页 |
| 2.5.1 二维微定位平台的模态分析实验 | 第37-39页 |
| 2.5.2 二维微定位平台刚度分析实验 | 第39-40页 |
| 2.5.3 二维微定位平台运动特性实验 | 第40-41页 |
| 2.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 模糊滑模控制器的设计 | 第42-58页 |
| 3.1 概述 | 第42页 |
| 3.2 模糊控制系统 | 第42-48页 |
| 3.2.1 模糊控制系统的组成与工作原理 | 第42-43页 |
| 3.2.2 模糊控制器的组成与工作原理 | 第43页 |
| 3.2.3 模糊控制器的设计 | 第43-48页 |
| 3.3 滑模控制系统 | 第48-56页 |
| 3.3.1 滑模控制系统的基本原理 | 第48-50页 |
| 3.3.2 滑模控制系统的形成条件 | 第50-51页 |
| 3.3.3 滑模控制器的设计 | 第51-52页 |
| 3.3.4 滑模控制系统的稳定性分析 | 第52-55页 |
| 3.3.5 滑模控制器存在的问题 | 第55-56页 |
| 3.4 模糊滑模控制 | 第56-57页 |
| 3.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第四章 二维微定位平台控制方法的构建与实验研究 | 第58-74页 |
| 4.1 概述 | 第58页 |
| 4.2 系统辨识实验 | 第58-63页 |
| 4.3 阶跃响应实验 | 第63-66页 |
| 4.4 轨迹跟踪实验 | 第66-73页 |
| 4.5 本章小结 | 第73-74页 |
| 第五章 全文结论 | 第74-76页 |
| 5.1 全文总结 | 第74-75页 |
| 5.2 全文展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-83页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
