| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题来源及研究的目的和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 研究对象——非晶态高分子聚合物材料 PMMA | 第11-13页 |
| 1.2.1 PMMA 结构与性质 | 第11-12页 |
| 1.2.2 玻璃化转变温度 | 第12-13页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3.1 PMMA 纳米机械加工的实验研究 | 第13-14页 |
| 1.3.2 PMMA 纳米机械加工的模拟研究 | 第14-15页 |
| 1.3.3 目前的研究所存在的不足 | 第15-16页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 分子动力学理论基础 | 第17-26页 |
| 2.1 分子动力学基本思想 | 第17页 |
| 2.2 势函数与分子力场 | 第17-21页 |
| 2.2.1 经典势函数 | 第18页 |
| 2.2.2 分子力场组成 | 第18-19页 |
| 2.2.3 分子力场分类 | 第19-21页 |
| 2.3 经典牛顿运动方程的建立与求解 | 第21-22页 |
| 2.4 分子动力学模拟的系综 | 第22-23页 |
| 2.5 仿真软件 | 第23-25页 |
| 2.6 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 PMMA 纳米刻划加工的分子动力学建模 | 第26-35页 |
| 3.1 聚合物工件的分子动力学模型 | 第26-27页 |
| 3.2 金刚石压头模型 | 第27-28页 |
| 3.3 珠簧模型 PMMA 纳米机械加工建模 | 第28-31页 |
| 3.3.1 建模方法 | 第28-30页 |
| 3.3.2 模型弛豫过程 | 第30-31页 |
| 3.4 全原子模型 PMMA 纳米机械加工建模 | 第31-34页 |
| 3.4.1 建模方法 | 第31-33页 |
| 3.4.2 模型弛豫过程 | 第33-34页 |
| 3.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 珠簧模型 PMMA 纳米刻划过程仿真结果分析 | 第35-45页 |
| 4.1 模拟条件 | 第35页 |
| 4.2 珠簧模型 PMMA 工件的玻璃化转变温度计算 | 第35-36页 |
| 4.3 纳米刻划过程和材料恢复 | 第36-39页 |
| 4.3.1 纳米刻划过程 | 第36-38页 |
| 4.3.2 PMMA 材料恢复性质 | 第38-39页 |
| 4.4 不同刻划参数的影响 | 第39-44页 |
| 4.4.1 刻划深度影响 | 第39-41页 |
| 4.4.2 刻划速度影响 | 第41-42页 |
| 4.4.3 压头和工件之间作用强度影响 | 第42-44页 |
| 4.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 全原子模型 PMMA 纳米刻划过程仿真结果分析 | 第45-56页 |
| 5.1 引言 | 第45页 |
| 5.2 模拟条件 | 第45-46页 |
| 5.3 纳米刻划过程和分子链的变化 | 第46-50页 |
| 5.3.1 纳米刻划过程 | 第46-48页 |
| 5.3.2 分子链的运动情况 | 第48-50页 |
| 5.4 不同刻划参数的影响 | 第50-55页 |
| 5.4.1 刻划深度影响 | 第50-51页 |
| 5.4.2 温度条件影响 | 第51-52页 |
| 5.4.3 刻划速度影响 | 第52-54页 |
| 5.4.4 压头和工件之间作用强度影响 | 第54-55页 |
| 5.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 结论与展望 | 第56-59页 |
| 6.1 本文主要结论 | 第56-57页 |
| 6.2 工作展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-65页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
