金丝球焊线机键合头的研究与开发
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| Contents | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 研究目的及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 课题概述 | 第12-13页 |
| 1.2.1 课题来源 | 第12页 |
| 1.2.2 课题背景简介 | 第12页 |
| 1.2.3 课题研究的目标 | 第12-13页 |
| 1.3 相关技术的现状与发展趋势 | 第13-17页 |
| 1.3.1 键合头焊线工艺概述 | 第13-14页 |
| 1.3.2 焊线的分类及特点 | 第14-15页 |
| 1.3.3 焊线机键合头的国内外现状及发展 | 第15-17页 |
| 1.4 课题研究的内容 | 第17-18页 |
| 第二章 焊线机键合头的方案与结构设计 | 第18-25页 |
| 2.1 旋转运动的支撑单元 | 第18-23页 |
| 2.2 音圈电机 | 第23-24页 |
| 2.3 扇形光栅尺 | 第24-25页 |
| 第三章 焊线机键合头的性能分析 | 第25-43页 |
| 3.1 Z轴模态分析 | 第25-31页 |
| 3.1.1 模态分析基本理论 | 第25-28页 |
| 3.1.2 键合头模态分析 | 第28-31页 |
| 3.2 Z轴碰撞仿真 | 第31-36页 |
| 3.2.1 碰撞分析基本理论 | 第31-33页 |
| 3.2.2 键合头碰撞仿真 | 第33-36页 |
| 3.3 键合头同轴度分析 | 第36-40页 |
| 3.4 键合头底座静力学分析 | 第40-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 实验与数据分析 | 第43-56页 |
| 4.1 直驱键合头标高实验 | 第43-46页 |
| 4.2 直驱键合头标力实验 | 第46-51页 |
| 4.3 直驱键合头位置-力切换控制设计及实现 | 第51-53页 |
| 4.4 重复稳定性测试 | 第53-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论与展望 | 第56-58页 |
| 全文总结 | 第56页 |
| 存在的问题 | 第56-57页 |
| 今后的工作 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
