| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第13-14页 |
| 1.4 本章小结 | 第14-15页 |
| 第二章 装置的整体设计方案 | 第15-23页 |
| 2.1 环境因素导致位移误差的原理 | 第15页 |
| 2.2 装置的整体结构及装置的探测原理 | 第15-17页 |
| 2.3 位移成像系统的设计方案 | 第17-18页 |
| 2.4 信号处理与采集显示系统的设计方案 | 第18-22页 |
| 2.4.1 一维PSD工作原理 | 第18-20页 |
| 2.4.2 PSD信号处理电路模块的设计方案 | 第20-21页 |
| 2.4.3 A/D转换器、单片机与上位机模块的设计方案 | 第21-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 位移成像系统 | 第23-34页 |
| 3.1 激光信号源的选择 | 第23-24页 |
| 3.1.1 激光二极管的功率 | 第23页 |
| 3.1.2 激光信号源波长和信号响应度 | 第23-24页 |
| 3.2 光束扩束系统 | 第24-30页 |
| 3.2.1 激光光斑大小 | 第24-26页 |
| 3.2.2 扩束透镜系统到成像透镜的距离对光斑大小的影响 | 第26-27页 |
| 3.2.3 扩束透镜间距离对光斑大小的影响 | 第27-30页 |
| 3.3 成像透镜 | 第30-33页 |
| 3.3.1 焦距对PSD成像位置的影响 | 第31页 |
| 3.3.2 焦距对位移测量精度的影响 | 第31-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 信号处理与采集显示系统 | 第34-51页 |
| 4.1 PSD信号处理电路模块 | 第34-42页 |
| 4.1.1 一维PSD器件 | 第34页 |
| 4.1.2 PSD信号处理电路硬件电路 | 第34-42页 |
| 4.2 A/D转换器、单片机与上位机模块 | 第42-50页 |
| 4.2.1 A/D转换器与单片机 | 第42-46页 |
| 4.2.2 数据的采集、计算与显示 | 第46-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 实物制作与实验数据 | 第51-57页 |
| 5.1 PSD信号处理电路PCB板的制作 | 第51-53页 |
| 5.2 数据的采集、计算与显示实验 | 第53-56页 |
| 5.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 附录A（攻读学位期间发表的论文） | 第62页 |