铬掺杂碳基多功能性薄膜的制备及其性能研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 类金刚石薄膜 | 第10-11页 |
| 1.1.1 类金刚石薄膜的定义 | 第10页 |
| 1.1.2 DLC薄膜的结构 | 第10-11页 |
| 1.1.3 DLC薄膜的性能与应用 | 第11页 |
| 1.2 DLC薄膜的制备方法 | 第11-13页 |
| 1.2.1 液相沉积法 | 第11-12页 |
| 1.2.2 化学气相沉积法 | 第12-13页 |
| 1.2.3 物理气相沉积法 | 第13页 |
| 1.3 薄膜的成分、结构和形貌表征 | 第13-14页 |
| 1.4 薄膜的性能优化 | 第14-15页 |
| 1.5 本文的研究目的及研究内容 | 第15-17页 |
| 2 薄膜的制备、表征与测试 | 第17-29页 |
| 2.1 镀膜装置及原理 | 第17-18页 |
| 2.2 薄膜的制备流程 | 第18-20页 |
| 2.3 薄膜的成分、结构和形貌表征 | 第20-23页 |
| 2.3.1 拉曼光谱仪(Raman) | 第20-21页 |
| 2.3.2 X射线光电子能谱仪(XPS) | 第21-22页 |
| 2.3.3 原子力显微镜(AFM) | 第22页 |
| 2.3.4 扫描电子显微镜(SEM) | 第22-23页 |
| 2.4 薄膜机械力学性能测试 | 第23-26页 |
| 2.4.1 薄膜残的余应力 | 第23-24页 |
| 2.4.2 膜-基结合力 | 第24-25页 |
| 2.4.3 薄膜硬度与弹性模量 | 第25页 |
| 2.4.4 薄膜的韧性 | 第25页 |
| 2.4.5 薄膜的摩擦学性能 | 第25-26页 |
| 2.5 薄膜润湿及抗腐蚀性能测试 | 第26-28页 |
| 2.5.1 薄膜润湿性能 | 第26-27页 |
| 2.5.2 薄膜抗腐蚀性能 | 第27-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 Cr掺杂和Cr过渡层对类金刚石薄膜性能的影响 | 第29-39页 |
| 3.1 实验仪器及耗材 | 第29-30页 |
| 3.2 薄膜制备工艺参数 | 第30页 |
| 3.3 薄膜结构、组成与形貌分析 | 第30-33页 |
| 3.3.1 Raman光谱分析 | 第30-31页 |
| 3.3.2 XPS分析 | 第31-32页 |
| 3.3.3 AFM分析 | 第32-33页 |
| 3.4 薄膜的机械力学性能 | 第33-37页 |
| 3.4.1 内应力、膜-基结合强度和韧性 | 第33-35页 |
| 3.4.2 硬度与弹性模量 | 第35页 |
| 3.4.3 摩擦磨损性能 | 第35-37页 |
| 3.5 薄膜的抗腐蚀性能 | 第37-38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-39页 |
| 4 脉冲频率对DLC：Cr薄膜性能的影响 | 第39-47页 |
| 4.1 实验仪器及耗材 | 第39页 |
| 4.2 薄膜制备工艺参数 | 第39-40页 |
| 4.3 薄膜结构、组成与形貌分析 | 第40-43页 |
| 4.3.1 Raman光谱分析 | 第40-41页 |
| 4.3.2 XPS分析 | 第41-42页 |
| 4.3.3 AFM分析 | 第42-43页 |
| 4.4 薄膜的机械力学性能分析 | 第43-44页 |
| 4.5 薄膜的耐腐蚀性能 | 第44-46页 |
| 4.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 5 阴极弧电流对DLC：Cr的性能影响 | 第47-53页 |
| 5.1 实验仪器及耗材 | 第47页 |
| 5.2 薄膜制备工艺 | 第47-48页 |
| 5.3 薄膜结构、组成与形貌分析 | 第48-50页 |
| 5.3.1 Raman光谱分析 | 第48页 |
| 5.3.2 XPS分析 | 第48-49页 |
| 5.3.3 AFM分析 | 第49-50页 |
| 5.4 薄膜的机械力学性能分析 | 第50-51页 |
| 5.5 薄膜的疏水性能及耐腐蚀性能分析 | 第51-52页 |
| 5.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 6 Cr过渡层对Cr/DLC薄膜结构和性能的影响 | 第53-59页 |
| 6.1 实验仪器及材料 | 第53页 |
| 6.2 薄膜制备工艺 | 第53-54页 |
| 6.3 薄膜结构、组成与形貌分析 | 第54-57页 |
| 6.3.1 Raman光谱分析 | 第54-55页 |
| 6.3.2 AFM分析 | 第55-56页 |
| 6.3.3 机械力学性能分析 | 第56-57页 |
| 6.4 疏水抗腐蚀性能分析 | 第57-58页 |
| 6.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 全文结论 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 附录 | 第67页 |
