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基于全内反射法测量亚表面损伤深度位置的研究

摘要第3-4页
ABSTRACT第4页
1 绪论第7-17页
    1.1 课题的来源第7页
    1.2 课题的研究意义第7-9页
    1.3 亚表面损伤产生机理第9-10页
    1.4 亚表面损伤测量技术的发展过程及现状第10-16页
        1.4.1 测量亚表面损伤的破坏性检测技术第10-12页
        1.4.2 测量亚表面损伤的非破坏性检测技术第12-16页
    1.5 本论文的主要研究内容第16-17页
2 亚表面损伤深度的测量原理第17-30页
    2.1 全内反射法测量亚表面损伤的基本原理和结构第17-18页
    2.2 全内反射照明光波状态与损伤点可见度的关系第18-26页
        2.2.1 驻波理论的分析第18-19页
        2.2.2 入射光波偏振态对损伤点可见度的影响第19-22页
        2.2.3 入射角度对损伤点可见度的影响第22-26页
    2.3 微分干涉增强损伤裂纹的凹凸感第26-28页
        2.3.1 线偏振光微分原理第26-27页
        2.3.2 线偏振光干涉原理第27-28页
        2.3.3 微分干涉光学系统原理第28页
    2.4 本章小结第28-30页
3 全内反射法测量亚表面损伤系统的设计第30-42页
    3.1 全内反射法测量亚表面损伤的整体系统装置设计第30-31页
    3.2 全内反射照明装置的原位照明设计第31-32页
    3.3 360°光纤照明系统的设计第32-33页
    3.4 微分干涉棱镜的设计第33-41页
        3.4.1 分束角的设计计算第33-36页
        3.4.2 相干平面的位置及与系统光轴的关系第36-38页
        3.4.3 光程差的计算第38页
        3.4.4 设计参数相互关系分析第38-41页
    3.5 本章小结第41-42页
4 实验的装调和观察第42-53页
    4.1 实验系统的装调第42-44页
    4.2 NOMARSKI棱镜设计图第44-48页
    4.3 实验现象及分析第48-52页
        4.3.1 偏振态对可见度的影响第48-49页
        4.3.2 入射角度对可见度的影响第49-51页
        4.3.3 照明方向对可见度的影响第51页
        4.3.4 Nomarski棱镜的作用第51-52页
    4.4 本章小结第52-53页
5 全文总结与展望第53-55页
致谢第55-56页
参考文献第56-59页
附录第59页

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