精密运动滑台结构及运动控制研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-16页 |
| 1.1.1 直线电机驱动技术研究现状 | 第9-12页 |
| 1.1.2 垂向滑台重力平衡装置研究现状 | 第12-16页 |
| 1.1.3 课题研究的目的及意义 | 第16页 |
| 1.2 研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 精密运动滑台的总体结构设计与实现 | 第18-34页 |
| 2.1 精密运动滑台的机械结构设计 | 第18-19页 |
| 2.1.1 精密运动滑台的设计要求 | 第18页 |
| 2.1.2 精密运动滑台的机械结构 | 第18-19页 |
| 2.2 精密运动模块各部件的选型与配置 | 第19-25页 |
| 2.2.1 直线电机的选型 | 第19-21页 |
| 2.2.2 反馈元件的选型 | 第21-22页 |
| 2.2.3 直线导轨的选型 | 第22-23页 |
| 2.2.4 接近传感器的选型 | 第23-25页 |
| 2.2.5 滑台底座的设计 | 第25页 |
| 2.3 滑台铅垂运动部件重力平衡装置的设计 | 第25-33页 |
| 2.3.1 重力平衡装置的设计要求 | 第25-26页 |
| 2.3.2 重力平衡装置的方案设计 | 第26-28页 |
| 2.3.3 单作用气缸气动系统的设计 | 第28-33页 |
| 2.4 本章总结 | 第33-34页 |
| 第三章 精密运动滑台控制系统设计 | 第34-41页 |
| 3.1 精密运动滑台控制系统的硬件组成 | 第34-37页 |
| 3.1.1 PMAC多轴运动控制器 | 第35-36页 |
| 3.1.2 ELMO伺服驱动器 | 第36-37页 |
| 3.2 精密运动滑台控制系统设置 | 第37-40页 |
| 3.2.1 PMAC配置软件的设置 | 第37-38页 |
| 3.2.2 ELMO驱动器的调试 | 第38-40页 |
| 3.3 本章总结 | 第40-41页 |
| 第四章 精密运动滑台动力学分析 | 第41-53页 |
| 4.1 动力学仿真软件 | 第41-43页 |
| 4.1.1 仿真软件的选择 | 第41-42页 |
| 4.1.2 ADAMS软件的设计流程 | 第42-43页 |
| 4.2 精密运动滑台动力学仿真建模 | 第43-46页 |
| 4.2.1 机械结构建模 | 第44页 |
| 4.2.2 动力学仿真模型建模 | 第44-46页 |
| 4.3 精密运动滑台的动力学仿真 | 第46-52页 |
| 4.3.1 仿真参数变量的设置 | 第46-47页 |
| 4.3.2 仿真结果与分析 | 第47-52页 |
| 4.4 本章总结 | 第52-53页 |
| 第五章 精密运动滑台铅垂运动测试 | 第53-60页 |
| 5.1 铅垂运动测试原理 | 第53-54页 |
| 5.2 铅垂运动测试系统的建立 | 第54-56页 |
| 5.2.1 测试系统 | 第54-55页 |
| 5.2.2 测试系统的调试 | 第55-56页 |
| 5.3 铅垂运动测试结果与分析 | 第56-58页 |
| 5.4 铅垂运动电流变化的测试 | 第58-59页 |
| 5.5 本章总结 | 第59-60页 |
| 第六章 结论与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 主要结论 | 第60-61页 |
| 6.2 研究展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 在学期间的研究成果 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
