基于单片集成垂直腔半导体光放大器与PIN光探测器的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 课题背景和研究意义 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3 论文的主要研究内容和结构 | 第12-13页 |
| 2 VCSOA-PIN原理与仿真 | 第13-52页 |
| 2.1 VCSOA基本理论 | 第13-29页 |
| 2.2 PIN基本理论 | 第29-40页 |
| 2.3 VCSOA-PIN结构设计与仿真 | 第40-51页 |
| 2.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 3 光探测器的制作 | 第52-61页 |
| 3.1 器件的外延生长 | 第52-54页 |
| 3.2 器件的后工艺制备 | 第54-60页 |
| 3.3 本章小结 | 第60-61页 |
| 4 光探测器的性能测试 | 第61-74页 |
| 4.1 静态特性的测试 | 第61-67页 |
| 4.2 高速特性测试 | 第67-69页 |
| 4.3 实验结果 | 第69-73页 |
| 4.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 5 改进型光探测器性能的研究 | 第74-82页 |
| 5.1 改进方案 | 第74-76页 |
| 5.2 VCSOA串联电阻的计算 | 第76-81页 |
| 5.3 本章小结 | 第81-82页 |
| 6 全文总结与展望 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-90页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文及专利目录 | 第90页 |
