| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 序 | 第9-12页 |
| 第一章 引言 | 第12-17页 |
| ·国内外研究进展 | 第12-15页 |
| ·本论文研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 非晶硅薄膜、HIT太阳电池的机理及表征 | 第17-29页 |
| ·非晶硅薄膜的机理 | 第17-18页 |
| ·非晶硅薄膜性能的表征 | 第18-22页 |
| ·非晶硅薄膜结构的表征 | 第18-20页 |
| ·非晶硅薄膜光学特性的表征 | 第20-22页 |
| ·非晶硅薄膜电学特性的表征 | 第22页 |
| ·HIT太阳电池的结构及原理 | 第22-25页 |
| ·HIT太阳电池基本特性参数及表征 | 第25-29页 |
| 第三章 非晶硅薄膜和HIT太阳电池的制备及性能优化 | 第29-62页 |
| ·非晶硅薄膜和HIT太阳电池的制备 | 第29-32页 |
| ·氢化非晶硅薄膜的制备 | 第29-31页 |
| ·HIT太阳电池的制备 | 第31-32页 |
| ·本征层影响因素的研究 | 第32-44页 |
| ·沉积气压和沉积功率对本征层性能的影响 | 第32-38页 |
| ·氢气流量对本征层性能的影响 | 第38-42页 |
| ·本征层厚度对HIT太阳电池性能的影响 | 第42-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| ·窗口层影响因素的研究 | 第44-55页 |
| ·沉积功率对窗口层性能的影响 | 第44-46页 |
| ·沉积压强对窗口层性能的影响 | 第46-49页 |
| ·掺杂浓度对窗口层性能的影响 | 第49-51页 |
| ·氢气流量对窗口层性能的影响 | 第51-52页 |
| ·窗口层对HIT太阳电池性能的影响 | 第52-55页 |
| ·小结 | 第55页 |
| ·透明电极影响因素的研究 | 第55-62页 |
| ·衬底温度对透明电极性能的影响 | 第56-59页 |
| ·沉积功率对透明电极性能的影响 | 第59-60页 |
| ·透明电极对HIT太阳电池性能的影响 | 第60-61页 |
| ·小结 | 第61-62页 |
| 第四章 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 作者简历 | 第66-68页 |
| 学位论文数据集 | 第68页 |