| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 透明导电氧化物薄膜的概述 | 第11-14页 |
| 1.2.1 透明导电氧化物薄膜的发展历史 | 第11-12页 |
| 1.2.2 透明导电氧化物薄膜的分类 | 第12-14页 |
| 1.3 FTO基薄膜的国内外研究进展 | 第14-23页 |
| 1.3.1 FTO薄膜制备技术 | 第14-17页 |
| 1.3.2 FTO基双层/多层复合薄膜的制备 | 第17-18页 |
| 1.3.3 FTO基薄膜后续处理技术 | 第18-23页 |
| 1.4 本课题来源、意义和主要研究内容 | 第23-25页 |
| 1.4.1 课题来源及研究意义 | 第23页 |
| 1.4.2 主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 实验材料、设备和表征方法 | 第25-31页 |
| 2.1 实验材料与设备 | 第25-27页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第25页 |
| 2.1.2 主要实验设备 | 第25-27页 |
| 2.2 主要表征和测试方法 | 第27-31页 |
| 2.2.1 结构和形貌表征 | 第28-29页 |
| 2.2.2 性能测试 | 第29-31页 |
| 第三章 超声振动辅助激光退火处理FTO薄膜 | 第31-47页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 实验部分 | 第31-33页 |
| 3.2.1 FTO薄膜预处理 | 第31-32页 |
| 3.2.2 FTO薄膜超声振动辅助激光退火处理 | 第32-33页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第33-46页 |
| 3.3.1 激光能量密度对FTO薄膜结构、形貌和性能的影响 | 第33-38页 |
| 3.3.2 振动功率对FTO薄膜结构、形貌和性能的影响 | 第38-45页 |
| 3.3.3 超声振动辅助激光退火处理的机理 | 第45-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 超声振动辅助激光退火处理Ag/FTO薄膜 | 第47-61页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 实验部分 | 第47-49页 |
| 4.2.1 Ag/FTO薄膜的制备 | 第47-48页 |
| 4.2.2 Ag/FTO薄膜超声振动辅助激光退火处理 | 第48-49页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第49-59页 |
| 4.3.1 Ag层厚度对Ag/FTO薄膜结构、形貌和性能的影响 | 第49-54页 |
| 4.3.2 SOR和LOR对Ag/FTO薄膜结构、形貌和性能的影响 | 第54-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 超声振动辅助激光织构化处理Ag/FTO薄膜 | 第61-71页 |
| 5.1 引言 | 第61页 |
| 5.2 实验部分 | 第61-62页 |
| 5.2.1 Ag/FTO薄膜的制备 | 第61-62页 |
| 5.2.2 Ag/FTO薄膜超声振动辅助激光辐照处理 | 第62页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第62-70页 |
| 5.3.1 Ag/FTO薄膜的晶体结构 | 第62-64页 |
| 5.3.2 Ag/FTO薄膜的表面形貌 | 第64-66页 |
| 5.3.3 Ag/FTO薄膜的光学性能 | 第66-68页 |
| 5.3.4 Ag/FTO薄膜的电学性能 | 第68-69页 |
| 5.3.5 Ag/FTO薄膜的综合光电性能 | 第69-70页 |
| 5.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-74页 |
| 6.1 工作总结 | 第71-72页 |
| 6.2 本论文创新点 | 第72页 |
| 6.3 工作展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 硕士期间发表的学术论文和专利 | 第84-85页 |
| 硕士期间参与的科研项目 | 第85页 |
