| 第一章 绪论 | 第7-19页 |
| 1.1 研究背景 | 第7-13页 |
| 1.1.1 微型化进程和趋势 | 第7-8页 |
| 1.1.2 热电制冷原理和应用 | 第8-13页 |
| 1.2 微尺度传热介绍 | 第13-18页 |
| 1.2.1 薄膜的热导率研究 | 第13-16页 |
| 1.2.2 超晶格结构的热导率研究 | 第16-18页 |
| 1.3 课题来源与主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 分子动力学模拟方法 | 第19-29页 |
| 2.1 分子动力学方法简介 | 第19页 |
| 2.2 分子动力学模拟的基本步骤 | 第19-23页 |
| 2.3 热导率的分子动力学模拟方法 | 第23-26页 |
| 2.3.1 平衡态分子动力学模拟方法 | 第23-24页 |
| 2.3.2 非平衡态分子动力学模拟方法 | 第24-26页 |
| 2.3.2.1 Homogenous NEMD方法 | 第24-25页 |
| 2.3.2.2 Inhomogenous NEMD方法 | 第25-26页 |
| 2.4 晶格导热的分子动力学模拟研究进展 | 第26-27页 |
| 2.5 薄膜法向导热的MD模拟方案与选择 | 第27-28页 |
| 2.6 分子动力学程序流程 | 第28-29页 |
| 第三章 Ar本体及掺杂导热系数的分子动力学模拟 | 第29-39页 |
| 3.1 前言 | 第29-30页 |
| 3.2 模拟模型 | 第30-31页 |
| 3.3 Ar势能函数和受力关系 | 第31-32页 |
| 3.4 无量纲化过程 | 第32页 |
| 3.5 热导率的计算和理论分析模型 | 第32-34页 |
| 3.6 模拟结果和分析 | 第34-38页 |
| 3.7 本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 超晶格结构分子动力学模拟 | 第39-49页 |
| 4.1 前言 | 第39-40页 |
| 4.2 超晶格的构造和模拟参数 | 第40-41页 |
| 4.3 模拟的条件 | 第41页 |
| 4.4 晶体的势能函数和受力关系 | 第41-43页 |
| 4.5 系统热导率的计算 | 第43-44页 |
| 4.6 仿真结果 | 第44-48页 |
| 4.7 本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 SiO2薄膜导热系数测量 | 第49-55页 |
| 5.1 前言 | 第49-50页 |
| 5.2 1方法原理 | 第50-51页 |
| 5.3 1方法的发展 | 第51-53页 |
| 5.4 实验结果 | 第53-54页 |
| 5.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第六章 总结与展望 | 第55-57页 |
| 6.1 总结 | 第55页 |
| 6.2 展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 作者在攻读硕士期间发表论文的情况 | 第63页 |