| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第11-19页 |
| 1.2.1 激光测振光路研究现状 | 第11-18页 |
| 1.2.2 零差激光干涉光路非线性模型研究现状 | 第18页 |
| 1.2.3 零差激光干涉非线性误差补偿方法研究现状 | 第18-19页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 干涉光路关键器件非理想特性分析 | 第21-37页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 消偏振分光棱镜非理想特性分析 | 第21-22页 |
| 2.3 角锥棱镜非理想特性分析 | 第22-34页 |
| 2.3.1 光线垂直入射时角锥棱镜特性分析 | 第23-29页 |
| 2.3.2 光线非垂直入射时角锥棱镜特性分析 | 第29-34页 |
| 2.4 其它关键器件非理想特性分析 | 第34-36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 基于偏振分光的零差干涉光路非线性模型分析 | 第37-52页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 基于偏振分光的零差干涉光路理想模型 | 第37-39页 |
| 3.3 基于偏振分光的零差干涉光路非线性误差分析 | 第39-48页 |
| 3.3.1 器件非理想性引入的非线性误差分析 | 第39-43页 |
| 3.3.2 器件调整偏差引入的非线性误差分析 | 第43-48页 |
| 3.4 基于偏振分光的零差干涉光路整体非线性误差特性分析 | 第48-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 基于消偏振分光的零差干涉光路与非线性误差协同补偿方法研究 | 第52-70页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 基于消偏振分光的零差干涉光路原理与理想模型 | 第52-55页 |
| 4.3 基于消偏振分光的零差干涉光路非线性误差分析 | 第55-65页 |
| 4.3.1 器件非理想性引入的非线性误差分析 | 第55-60页 |
| 4.3.2 器件调整偏差引入的非线性误差分析 | 第60-65页 |
| 4.4 基于消偏振分光的零差干涉光路整体非线性误差特性分析 | 第65-66页 |
| 4.5 非线性误差协同补偿方案设计 | 第66-69页 |
| 4.6 本章小结 | 第69-70页 |
| 第5章 实验与分析 | 第70-77页 |
| 5.1 引言 | 第70页 |
| 5.2 实验系统设计 | 第70-71页 |
| 5.3 可调整器件旋转角与非正交误差关系曲线测试实验 | 第71-72页 |
| 5.4 静态特性实验 | 第72-74页 |
| 5.4.1 位移分辨力实验 | 第72-73页 |
| 5.4.2 稳定性实验 | 第73页 |
| 5.4.3 非线性误差补偿实验 | 第73-74页 |
| 5.5 动态特性实验 | 第74-76页 |
| 5.5.1 振动测量重复性实验 | 第74-75页 |
| 5.5.2 振动测量精度对比实验 | 第75-76页 |
| 5.6 本章小结 | 第76-77页 |
| 结论 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果 | 第83-85页 |
| 致谢 | 第85页 |
