致谢 | 第5-6页 |
摘要 | 第6-7页 |
Abstract | 第7-8页 |
1 绪论 | 第12-28页 |
1.1 OCT技术简介 | 第12-15页 |
1.2 傅立叶域OCT系统的研究进展 | 第15-20页 |
1.2.1 谱域OCT系统的研究进展 | 第15-16页 |
1.2.2 扫频OCT系统的研究进展 | 第16-19页 |
1.2.3 傅立叶域OCT系统的功能拓展 | 第19-20页 |
1.3 论文的总体结构和创新点 | 第20-22页 |
1.3.1 论文的总体结构 | 第20-21页 |
1.3.2 论文的主要创新点 | 第21-22页 |
参考文献 | 第22-28页 |
2 扫频OCT技术基本原理及其相位敏感型OCT技术 | 第28-40页 |
2.1 扫频OCT技术原理 | 第28-29页 |
2.2 扫频OCT系统主要性能参数 | 第29-33页 |
2.2.1 扫频OCT系统分辨率和成像深度 | 第29-32页 |
2.2.2 扫频OCT系统信噪比和灵敏度 | 第32-33页 |
2.3 扫频OCT系统与谱域OCT系统的比较 | 第33-34页 |
2.4 相位敏感型OCT技术 | 第34-36页 |
2.5 本章小结 | 第36-37页 |
参考文献 | 第37-40页 |
3 三维成像扫频OCT系统研制与实验研究 | 第40-52页 |
3.1 三维成像扫频OCT系统搭建 | 第40-43页 |
3.1.1 扫频激光光源 | 第41页 |
3.1.2 干涉仪 | 第41-43页 |
3.2 干涉光谱探测及其硬件同步控制 | 第43-46页 |
3.3 软件系统设计和数据处理流程 | 第46-47页 |
3.4 成像结果 | 第47-49页 |
3.5 本章小结 | 第49-50页 |
参考文献 | 第50-52页 |
4 相位敏感型大量程实时间距测量环腔扫频OCT系统 | 第52-76页 |
4.1 本章引言 | 第52-55页 |
4.2 相位敏感型大量程实时间距测量环腔扫频OCT系统搭建 | 第55-60页 |
4.2.1 扫频激光光源 | 第56页 |
4.2.2 光纤型声光频移器 | 第56-58页 |
4.2.3 半导体光放大器 | 第58-59页 |
4.2.4 光程延迟线 | 第59-60页 |
4.3 环腔扫频OCT系统量程拓展方法和相位比较算法介绍 | 第60-66页 |
4.4 相位敏感型大量程实时间距测量环腔扫频OCT系统实验结果 | 第66-72页 |
4.4.1 扫频激光光源的稳定性 | 第66-67页 |
4.4.2 相位比较算法优势 | 第67-69页 |
4.4.3 环腔扫频OCT系统测量量程和测量重复性评估 | 第69-72页 |
4.5 本章小结 | 第72-73页 |
参考文献 | 第73-76页 |
5 位相增强型薄膜厚度测量系统 | 第76-96页 |
5.1 本章引言 | 第76-82页 |
5.2 位相增强型薄膜厚度测量系统搭建 | 第82-85页 |
5.2.1 助推光学放大器 | 第84-85页 |
5.3 薄膜非线性相位放大理论推导 | 第85-87页 |
5.4 位相增强型薄膜厚度测量系统实验结果 | 第87-93页 |
5.4.1 校正扫频激光光源的波数采样 | 第87-88页 |
5.4.2 系统光循环级次和相位灵敏度评估 | 第88-90页 |
5.4.3 薄膜厚度测量的实验研究 | 第90-93页 |
5.5 本章小结 | 第93-94页 |
参考文献 | 第94-96页 |
6 总结和展望 | 第96-98页 |
作者简介 | 第98-99页 |