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边界效应控制微纳嵌套褶皱形貌工艺研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-20页
    1.1 课题来源和意义第9-10页
    1.2 国内外研究现状第10-18页
    1.3 本文研究内容及方法第18-20页
2 微纳褶皱预拉伸制备工艺第20-31页
    2.1 引言第20页
    2.2 薄膜褶皱生成机理第20页
    2.3 工艺方法简介第20-23页
    2.4 工艺参数分析第23-30页
    2.5 本章小结第30-31页
3 分层嵌套微纳褶皱制备工艺第31-39页
    3.1 引言第31页
    3.2 分层嵌套褶皱简介第31-32页
    3.3 工艺方法简介第32-37页
    3.4 工艺特色讨论第37-38页
    3.5 本章小结第38-39页
4 分层嵌套微纳褶皱生成机理及工艺参数分析第39-51页
    4.1 引言第39页
    4.2 分层嵌套微纳褶皱生成机理第39-44页
    4.3 分层嵌套微纳褶皱工艺参数分析第44-50页
    4.4 本章小结第50-51页
5 总结与展望第51-54页
    5.1 全文总结第51-52页
    5.2 工作展望第52-54页
致谢第54-55页
参考文献第55-58页

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