| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 紫外光源发展现状 | 第8-12页 |
| 1.2.1 紫外光源的分类 | 第8-11页 |
| 1.2.2 等离子体平板紫外光源的发展现状 | 第11-12页 |
| 1.3 窄谱中波紫外光源在生物医疗方面的应用 | 第12-13页 |
| 1.4 本论文的主要内容及章节安排 | 第13-14页 |
| 第二章 等离了体平板紫外光源的原理与模拟分析 | 第14-28页 |
| 2.1 等离子体气体放电特性 | 第14-16页 |
| 2.1.1 气体放电中粒子运动与相互作用 | 第14-15页 |
| 2.1.2 气体伏安特性 | 第15页 |
| 2.1.3 巴邢定律 | 第15-16页 |
| 2.2 等离子体平板紫外光源的发光机理 | 第16-21页 |
| 2.2.1 等离子体发光机理 | 第16-18页 |
| 2.2.2 荧光粉发光机理 | 第18-19页 |
| 2.2.3 Xe含量对147nm、172nm真空紫外线的影响 | 第19-20页 |
| 2.2.4 介质阻挡放电 | 第20-21页 |
| 2.3 等离子体器件的粒子模拟分析 | 第21-26页 |
| 2.3.1 等离子体模拟的方法—PIC-MCC模拟方法 | 第21-22页 |
| 2.3.2 模拟软件算法流程 | 第22页 |
| 2.3.3 等离子体平板紫外光源单元结构模型 | 第22-23页 |
| 2.3.4 电极间距对放电特性的影响 | 第23-25页 |
| 2.3.5 气体成分对放电特性的影响 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 等离子体平板紫外光源的制备与测试 | 第28-38页 |
| 3.1 等离子体平板紫外光源的基本结构及封接方案 | 第28-30页 |
| 3.1.1 等离子体平板紫外光源的基本结构 | 第28-29页 |
| 3.1.2 等离子体平板紫外光源的封接方案的探讨 | 第29-30页 |
| 3.2 等离子体平板紫外光源制备的技术方案研究 | 第30-33页 |
| 3.2.1 前基板制作重点 | 第31页 |
| 3.2.2 后基板制作重点 | 第31-33页 |
| 3.2.3 前、后基板与中间层的封接工艺 | 第33页 |
| 3.3 实验平台的搭建及测试方案 | 第33-36页 |
| 3.3.1 实验平台 | 第33-34页 |
| 3.3.2 平板紫外光源性能指标 | 第34-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 柔性等离子体平板紫外光源的探索 | 第38-44页 |
| 4.1 柔性光源的优势及其应用前景 | 第38-39页 |
| 4.2 表面放电型柔性平板光源的结构与制备工艺 | 第39-41页 |
| 4.2.1 表面放电型柔性光源的结构设计 | 第39页 |
| 4.2.2 制作工艺与测试 | 第39-41页 |
| 4.3 对向放电型柔性平板光源的结构与制备工艺 | 第41-42页 |
| 4.3.1 对向放电型柔性光源的结构设计 | 第41页 |
| 4.3.2 制作工艺与测试 | 第41-42页 |
| 4.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 第五章 实验屏驱动电路的制备 | 第44-56页 |
| 5.1 驱动波形需求分析 | 第44页 |
| 5.2 电路系统设计分析 | 第44-49页 |
| 5.2.1 高压电路设计分析 | 第44-49页 |
| 5.2.2 控制电路的分析 | 第49页 |
| 5.3 实际硬件电路设计 | 第49-52页 |
| 5.3.1 高压驱动部分 | 第49页 |
| 5.3.2 IGBT的门级驱动部分 | 第49-50页 |
| 5.3.3 控制电路部分 | 第50-51页 |
| 5.3.4 电磁兼容性设计 | 第51-52页 |
| 5.4 软件系统 | 第52-53页 |
| 5.4.1 软件设计需求分析 | 第52页 |
| 5.4.2 设计结果仿真 | 第52-53页 |
| 5.5 功能验证 | 第53-55页 |
| 5.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 总结与展望 | 第56-58页 |
| 6.1 总结 | 第56页 |
| 6.2 展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 作者简介 | 第64页 |