| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第8-10页 |
| 1.1.1 课题背景 | 第8-9页 |
| 1.1.2 课题研究的意义 | 第9-10页 |
| 1.2 微机械谐振器件热弹性阻尼及其研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 微机械谐振器件及其品质因数 | 第10页 |
| 1.2.2 热弹性阻尼的概念 | 第10-11页 |
| 1.2.3 热弹性阻尼的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 1.4 本章小结 | 第14-15页 |
| 第二章 当前微梁和微板谐振器件热弹性阻尼模型 | 第15-29页 |
| 2.1 热弹性梁的一维热传导方程 | 第15-17页 |
| 2.2 微梁的热弹性阻尼理论模型(Zener模型) | 第17-21页 |
| 2.2.1 热传导方程及其求解 | 第17-19页 |
| 2.2.2 Zener热弹性阻尼表达式 | 第19-21页 |
| 2.3 微梁的热弹性阻尼理论模型(LR模型) | 第21-23页 |
| 2.3.1 热传导方程及其求解 | 第21-22页 |
| 2.3.2 LR热弹性阻尼表达式 | 第22-23页 |
| 2.4 微矩形板谐振器件的一维热弹性阻尼理论模型 | 第23-28页 |
| 2.4.1 矩形板的一维热传导方程及求解 | 第23-26页 |
| 2.4.2 矩形板的一维TED理论模型 | 第26-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 微矩形板谐振器件的三维热弹性阻尼机理与模型 | 第29-41页 |
| 3.1 矩形板的三维热传导方程 | 第29页 |
| 3.2 四边固支的矩形板的热弹性阻尼模型 | 第29-33页 |
| 3.2.1 热传导方程的求解 | 第29-31页 |
| 3.2.2 四边固定的矩形板的三维TED表达式 | 第31-33页 |
| 3.3 对边固支的矩形板的热弹性阻尼模型 | 第33-36页 |
| 3.3.1 热传导方程的求解 | 第33-35页 |
| 3.3.2 对边固支的矩形板的三维TED表达式 | 第35-36页 |
| 3.4 悬臂的矩形板的热弹性阻尼模型 | 第36-40页 |
| 3.4.1 热传导方程的求解 | 第36-38页 |
| 3.4.2 悬臂的矩形板的三维TED表达式 | 第38-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 理论模型与有限元模型的比较及分析 | 第41-58页 |
| 4.1 边界条件和几何尺寸对热弹性阻尼的影响 | 第41-43页 |
| 4.2 矩形板内长度方向和厚度方向的温度变化 | 第43-50页 |
| 4.3 有限元数值模拟及结果对比 | 第50-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 5.1 全文总结 | 第58-59页 |
| 5.2 不足和展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 附录一 求解微矩形板热弹性阻尼值的ANSYS程序 | 第63-68页 |
| 附录二 微矩形板的热弹性阻尼值的MATLAB程序 | 第68-74页 |