| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-16页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 CZTS薄膜太阳能电池简介 | 第12-14页 |
| 1.3 论文依据与研究内容 | 第14-16页 |
| 1.3.1 论文依据 | 第14-15页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 背电极Mo薄膜制备与性能研究 | 第16-37页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 实验部分 | 第16-18页 |
| 2.2.1 实验制备与表征仪器表 | 第16-17页 |
| 2.2.2 背电极Mo层的制备 | 第17-18页 |
| 2.2.3 样品的表征方法 | 第18页 |
| 2.3 实验结果与分析 | 第18-36页 |
| 2.3.1 退火工艺对背电极Mo的性能影响 | 第18-21页 |
| 2.3.1.1 物相分析 | 第19-20页 |
| 2.3.1.2 表面形貌分析 | 第20页 |
| 2.3.1.3 电学性能分析 | 第20-21页 |
| 2.3.2 溅射功率对背电极Mo的性能影响 | 第21-26页 |
| 2.3.2.1 Mo薄膜的物相结构 | 第22-23页 |
| 2.3.2.2 Mo薄膜的SEM | 第23-25页 |
| 2.3.2.3 Mo薄膜的电学性能 | 第25-26页 |
| 2.3.3 溅射压强对背电极Mo的性能影响 | 第26-29页 |
| 2.3.3.1 Mo薄膜物相结构 | 第26-27页 |
| 2.3.3.2 Mo薄膜的表面形貌 | 第27-28页 |
| 2.3.3.3 Mo薄膜的电学性能 | 第28-29页 |
| 2.3.4 背电极双层Mo薄膜的性能研究 | 第29-33页 |
| 2.3.4.1 Mo薄膜的物相结构 | 第30页 |
| 2.3.4.2 Mo薄膜的微观形貌 | 第30-32页 |
| 2.3.4.3 Mo薄膜的电学性能 | 第32-33页 |
| 2.3.5 多层背电极Mo薄膜的性能研究 | 第33-36页 |
| 2.3.5.1 多层Mo薄膜的物相结构 | 第33页 |
| 2.3.5.2 多层Mo薄膜的表面形貌 | 第33-34页 |
| 2.3.5.3 多层Mo薄膜的电学性能 | 第34-36页 |
| 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 铜锌锡硫硒(CTSSe)薄膜吸收层的制备及性能 | 第37-65页 |
| 3.1 引言 | 第37-38页 |
| 3.2 实验部分 | 第38-41页 |
| 3.2.1 原料及仪器 | 第38-39页 |
| 3.2.2 CZTSSe薄膜吸收层的制备 | 第39-40页 |
| 3.2.3 表征方法 | 第40-41页 |
| 3.3 实验结果与分析 | 第41-64页 |
| 3.3.1 温度对CZTSSe薄膜性能的影响 | 第41-48页 |
| 3.3.1.1 CZTSSe薄膜的物相结构 | 第41-43页 |
| 3.3.1.2 CZTSSe薄膜的微观形貌 | 第43-44页 |
| 3.3.1.3 CZTSSe薄膜的成分 | 第44-47页 |
| 3.3.1.4 CZTSSe薄膜光学性能 | 第47-48页 |
| 3.3.2 硒化温度对CZTSSe薄膜性能的影响 | 第48-53页 |
| 3.3.2.1 CZTSSe薄膜的物相结构分析 | 第48-50页 |
| 3.3.2.2 CZTSSe薄膜SEM分析 | 第50-51页 |
| 3.3.2.3 CZTSSe薄膜的成分分析 | 第51-53页 |
| 3.3.2.4 CZTSSe薄膜光学性能分析 | 第53页 |
| 3.3.3 未硒化与硒化CZTSSe薄膜对比分析 | 第53-56页 |
| 3.3.3.1 薄膜的物相分析 | 第54-55页 |
| 3.3.3.2 薄膜形貌分析 | 第55页 |
| 3.3.3.3 薄膜成分分析 | 第55-56页 |
| 3.3.3.4 薄膜的光学性能分析 | 第56页 |
| 3.3.4 Se粉量对CZTSSe薄膜性能的影响 | 第56-64页 |
| 3.3.4.1 XRD分析 | 第56-58页 |
| 3.3.4.2 SEM分析 | 第58页 |
| 3.3.4.3 成分分析 | 第58-60页 |
| 3.3.4.4 光学性能分析 | 第60-62页 |
| 3.3.4.5 XPS分析 | 第62-64页 |
| 3.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第四章 结论及展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 硕士期间发表的学术论文 | 第73页 |