| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 引言 | 第9-10页 |
| 1 氧化锌的结构、特性及应用 | 第10-14页 |
| 1.1 氧化锌的结构 | 第10-11页 |
| 1.2 氧化锌的特性 | 第11-12页 |
| 1.2.1 氧化锌的压电特性 | 第11页 |
| 1.2.2 氧化锌的光电特性 | 第11-12页 |
| 1.2.3 氧化锌的半导体特性 | 第12页 |
| 1.3 氧化锌的潜在应用 | 第12-14页 |
| 2 氧化锌纳米结构的制备方法 | 第14-17页 |
| 2.1 液相法 | 第14-15页 |
| 2.2 磁控溅射法 | 第15页 |
| 2.3 模板法 | 第15-17页 |
| 3 碳纳米线圈的特性、制备方法 | 第17-21页 |
| 3.1 碳纳米线圈的特性 | 第17页 |
| 3.2 碳纳米线圈的制备方法 | 第17-18页 |
| 3.3 碳纳米线圈的制备实验 | 第18-21页 |
| 3.3.1 催化剂的制备方法 | 第18-19页 |
| 3.3.2 CVD方法制备碳纳米线圈 | 第19页 |
| 3.3.3 结果与讨论 | 第19-21页 |
| 4 以碳纳米线圈为模板制备氧化锌纳米线圈 | 第21-33页 |
| 4.1 磁控溅射法简介 | 第21-22页 |
| 4.1.1 磁控溅射原理 | 第21页 |
| 4.1.2 磁控溅射镀膜设备简介 | 第21-22页 |
| 4.2 磁控溅射法制备氧化锌纳米线圈及高温煅烧去除碳结构 | 第22-33页 |
| 4.2.1 实验 | 第22-23页 |
| 4.2.2 结果与讨论 | 第23-33页 |
| 5 采用Comsol Multiphysics软件模拟氧化锌纳米结构的压电特性 | 第33-42页 |
| 5.1 Comsol Multiphysics软件简介 | 第33页 |
| 5.2 利用Comsol Multiphysics软件模拟氧化锌纳米结构的压电特性 | 第33-42页 |
| 5.2.1 压电电子学和压电光电子学的物理基础：压电势 | 第33-34页 |
| 5.2.2 螺旋结构的建模 | 第34-35页 |
| 5.2.3 氧化锌纳米结构的压电特性的模拟 | 第35-42页 |
| 结论 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-44页 |
| 致谢 | 第44-45页 |
