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ITO玻璃上多孔氧化铝薄膜的制备及性能研究

摘要第6-8页
ABSTRACT第8-9页
第一章 多孔阳极氧化铝介绍第12-42页
    1.1 前言第12-13页
    1.2 阳极氧化铝模板的发展历史第13-17页
    1.3 多孔氧化铝研究拓展第17-21页
    1.4 阳极氧化铝模板的形成机制第21-26页
        1.4.1 阴离子扩散过程第21页
        1.4.2 成膜理论概述第21-26页
    1.5 多孔氧化铝的应用方向第26-34页
        1.5.1 多孔氧化铝作为掩模板第27-28页
        1.5.2 多孔氧化铝在超疏水方面的应用第28-31页
        1.5.3 衬底上生长阳极氧化铝及应用第31-34页
    1.6 本章小结第34-35页
    参考文献第35-42页
第二章 ITO玻璃上多孔阳极氧化铝的制备第42-62页
    2.1 前言第42-43页
    2.2 磁控溅射方法介绍第43-46页
        2.2.1 磁控溅射发展历史第43页
        2.2.2 磁控溅射原理介绍第43-46页
    2.3 实验过程第46-51页
        2.3.1 使用磁控溅射方法在ITO玻璃上溅射Ti第46-47页
        2.3.2 使用磁控溅射方法在ITO玻璃上溅射Al第47-49页
        2.3.3 阳极氧化过程第49-50页
        2.3.4 初步检测手段第50页
        2.3.5 阳极氧化AAO形成机制第50-51页
    2.4 ITO玻璃上阳极氧化铝快速制备技术第51-54页
    2.5 ITO玻璃上阻碍层去除技术第54-59页
    2.6 本章小结第59页
    参考文献第59-62页
第三章 多孔阳极氧化铝膜的光学特性第62-74页
    3.1 前言第62页
    3.2 多孔阳极氧化铝膜的光致发光特性第62-71页
        3.2.1 光致发光(PL)的原理第62-63页
        3.2.2 多孔氧化铝的光致发光谱第63-67页
        3.2.3 ITO玻璃上多孔氧化铝的PL特性第67-71页
    3.3 多孔阳极氧化铝膜的透射特性第71-72页
    3.4 本章小结第72页
    参考文献第72-74页
全文总结第74-76页
插图索引第76-80页
致谢第80-82页
攻读学位期间发表的学术论文目录第82页

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