| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 MEMS热式风速传感器研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 MEMS热式风速风向传感器研究进展 | 第11-15页 |
| 1.2.1 国内外低功耗MEMS热式风速风向传感器研究进展 | 第11-13页 |
| 1.2.2 国内外MEMS热式风速风向传感器温漂补偿研究进展 | 第13-15页 |
| 1.3 本论文的主要工作 | 第15-16页 |
| 1.3.1 目前研究中存在的问题 | 第15页 |
| 1.3.2 本课题任务 | 第15-16页 |
| 1.4 本章小结 | 第16-18页 |
| 第二章 MEMS热式风速风向传感器的工作原理、结构与封装设计 | 第18-32页 |
| 2.1 MEMS热式风速风向传感器工作原理概述 | 第18-23页 |
| 2.1.1 传感器的风速风向检测原理 | 第18-21页 |
| 2.1.2 传感器的控制模式 | 第21-23页 |
| 2.2 MEMS热式风速风向传感器系统 | 第23-26页 |
| 2.2.1 传感器系统构成概述 | 第23页 |
| 2.2.2 传感器的恒温差控制系统 | 第23-24页 |
| 2.2.3 传感器的热温差检测系统 | 第24-26页 |
| 2.2.4 传感器的软件系统 | 第26页 |
| 2.3 MEMS热式风速风向传感器的芯片结构 | 第26-28页 |
| 2.3.1 芯片结构介绍 | 第27页 |
| 2.3.2 芯片制造方法 | 第27-28页 |
| 2.4 MEMS热式风速风向传感器的封装 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-32页 |
| 第三章 热式风速传感器功耗控制研究 | 第32-56页 |
| 3.1 基于脉冲式加热的功耗控制算法研究 | 第32-40页 |
| 3.1.1 脉冲式加热功耗控制算法概述 | 第32-34页 |
| 3.1.2 脉冲式加热控制电路设计 | 第34-35页 |
| 3.1.3 脉冲式加热反馈控制算法原理 | 第35-37页 |
| 3.1.4 与原CTD控制系统功耗对比测试 | 第37-40页 |
| 3.2 MCU降频算法研究 | 第40-49页 |
| 3.2.1 传感器系统功耗占比分析 | 第41-43页 |
| 3.2.2 MCU降频算法 | 第43-47页 |
| 3.2.3 CPU工作模式调整对功耗的影响 | 第47-49页 |
| 3.3 传感器性能测试与分析 | 第49-53页 |
| 3.3.1 传感器量程、灵敏度测试与分析 | 第49-50页 |
| 3.3.2 传感器测温电阻输出电压测试与分析 | 第50-51页 |
| 3.3.3 风速精度测试与分析 | 第51-53页 |
| 3.3.4 风向精度测试与分析 | 第53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-56页 |
| 第四章 温漂补偿算法研究 | 第56-64页 |
| 4.1 传感器温度漂移特性分析 | 第56-59页 |
| 4.1.1 测试系统概述 | 第56页 |
| 4.1.2 传感器输出温漂特性分析 | 第56-59页 |
| 4.2 基于线性插值原理的温漂补偿算法 | 第59-60页 |
| 4.2.1 线性插值算法原理 | 第59页 |
| 4.2.2 基于环境温度扫描的传感器温漂补偿算法 | 第59-60页 |
| 4.3 补偿后传感器的温度测试与分析 | 第60-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 工作总结 | 第64页 |
| 5.2 展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 作者简介 | 第70页 |
