| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题研究背景及目的意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.1.2 课题研究背景及目的意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 主轴回转误差检测方法的研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 动态干涉仪在检测方面的应用与研究现状 | 第14-15页 |
| 1.2.3 图像处理技术在特征提取领域的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3 主要研究内容及技术路线 | 第16-19页 |
| 1.3.1 主要研究内容 | 第16-17页 |
| 1.3.2 技术路线 | 第17-19页 |
| 第2章 主轴回转精度检测研究 | 第19-31页 |
| 2.1 主轴回转误差运动 | 第19-23页 |
| 2.1.1 主轴回转误差概述 | 第19-22页 |
| 2.1.2 主轴回转误差运动的数学表示 | 第22-23页 |
| 2.2 动态干涉条纹形成机理分析 | 第23-26页 |
| 2.3 基于动态干涉仪主轴回转精度检测装置的搭建 | 第26-30页 |
| 2.3.1 标准测试样件的优选 | 第26-27页 |
| 2.3.2 平面平晶专用装调结构的设计 | 第27-28页 |
| 2.3.3 光学平晶夹持结构的设计 | 第28-29页 |
| 2.3.4 回转误差检测装置的搭建 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 干涉条纹追踪实现主轴回转误差测量的研究 | 第31-38页 |
| 3.1 干涉条纹图像的实时采集处理系统 | 第31-32页 |
| 3.2 干涉条纹图像特征分析 | 第32-33页 |
| 3.3 平面平晶位移量的计算 | 第33-37页 |
| 3.3.1 干涉条纹追踪位移测量原理 | 第33-36页 |
| 3.3.2 干涉条纹追踪平面平晶位移 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 干涉条纹图像处理技术 | 第38-49页 |
| 4.1 干涉条纹图像的平滑处理 | 第38-43页 |
| 4.1.1 干涉条纹图像的去噪处理 | 第38-42页 |
| 4.1.2 干涉条纹的形态学处理 | 第42-43页 |
| 4.2 OTSU算法干涉条纹图像阈值化 | 第43-45页 |
| 4.3 干涉条纹边缘特征与像素点提取 | 第45-48页 |
| 4.3.1 干涉条纹图像边缘特征提取 | 第45-47页 |
| 4.3.2 相邻干涉条纹等灰度值像素点的提取 | 第47-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 基于干涉条纹特征分析主轴回转精度检测实验研究 | 第49-58页 |
| 5.1 主轴回转误差测试装置 | 第49-50页 |
| 5.2 光学平晶精密调整实验 | 第50-54页 |
| 5.2.1 实验目的 | 第50-52页 |
| 5.2.2 光学平晶精密调整 | 第52-54页 |
| 5.3 采用动态干涉仪的主轴回转精度检测实验 | 第54-56页 |
| 5.3.1 主轴轴向回转精度检测的实验 | 第54-56页 |
| 5.3.2 实验误差分析 | 第56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |