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红外衍射光学元件的衍射效率和加工误差的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-7页
第一章 绪论第7-12页
   ·衍射光学元件的发展历史第7-9页
   ·衍射光学的发展现状及应用第9-11页
   ·本课题的主要研究内容第11-12页
第二章 衍射光学元件的理论分析第12-17页
   ·标量衍射理论第12-13页
     ·基尔霍夫衍射积分第12-13页
     ·菲涅尔衍射积分公式第13页
   ·位相光栅衍射效率第13-17页
第三章 红外宽波段高衍射效率DOE的设计第17-26页
   ·波长对衍射光学元件衍射效率的影响第17-21页
     ·单层衍射光学元件第17-18页
     ·谐衍射光学元件第18页
     ·多层衍射光学元件第18-21页
   ·在红外波段入射角度不同衍射光学元件衍射效率的分析第21-24页
     ·单层衍射光学元件第21-22页
     ·双层衍射光学元件第22-24页
   ·衍射光学元件表面粗糙度对其衍射效率的影响第24-26页
第四章 加工误差对衍射光学元件衍射效率的影响第26-47页
   ·衍射光元件的三种主要加工技术第26-29页
     ·激光直写技术第26-27页
     ·复制技术第27页
     ·金刚石车削技术第27-29页
   ·装配误差对多层衍射光学元件衍射效率的影响第29-34页
   ·空气间隙对双层衍射光学元件衍射衍射效率的影响第34-47页
     ·单层衍射光学元件的周期宽度误差第35页
     ·空气间隙对双层衍射光学元件衍射效率影响的理论分析第35-37页
     ·空气间隙、周期对双层衍射光学元件衍射效率的影响第37-41页
     ·空气间隙、入射角度对双层衍射光学元件衍射效率的影响第41-44页
     ·空气间隙固定,入射角度对其衍射效率的影响第44-47页
第五章 宽波段高衍射效率衍射光学元件在红外光学系统的应用第47-52页
   ·红外光学系统的实例设计第47-49页
   ·空气间隙对设计实例衍射效率的影响第49-52页
结论第52-53页
致谢第53-54页
参考文献第54-57页
在攻读硕士期间发表的学术论文及参加的科研项目第57页

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