| 摘要 | 第1-7页 |
| abstract | 第7-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-16页 |
| ·课题研究背景 | 第13-14页 |
| ·全文章节安排 | 第14-16页 |
| 第2章 压电惯性摩擦驱动器原理与发展现状 | 第16-47页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·压电惯性摩擦驱动器驱动原理 | 第16-21页 |
| ·摩擦驱动原理(FDA：Friction driven actuator) | 第16-17页 |
| ·惯性驱动原理(IDA：Inertial driven actuator) | 第17-18页 |
| ·压电惯性摩擦驱动器性能对比 | 第18-20页 |
| ·压电惯性摩擦驱动器普遍原理 | 第20-21页 |
| ·压电惯性摩擦驱动器结构设计 | 第21-30页 |
| ·只具有基本结构的压电惯性摩擦驱动器 | 第21-22页 |
| ·具有摩擦力/惯性力调节装置的压电惯性摩擦驱动器 | 第22-24页 |
| ·压电驱动器不固定的压电惯性摩擦驱动器 | 第24-25页 |
| ·具有小型化驱动块的压电惯性摩擦驱动器 | 第25-26页 |
| ·具有放大机构的压电惯性摩擦驱动器 | 第26-27页 |
| ·具有多个压电驱动器的压电惯性摩擦驱动器 | 第27-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| ·压电惯性摩擦驱动器建模技术 | 第30-39页 |
| ·压电驱动器建模 | 第30-33页 |
| ·摩擦力建模 | 第33-37页 |
| ·模型集成 | 第37-39页 |
| ·小结 | 第39页 |
| ·压电惯性摩擦驱动器控制技术 | 第39-44页 |
| ·压电惯性摩擦驱动器的前馈控制技术 | 第39-41页 |
| ·压电惯性摩擦驱动器的反馈控制技术 | 第41-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| ·研究内容与研究目标 | 第44-45页 |
| ·目前压电惯摩驱动器技术中存在的主要问题 | 第44页 |
| ·研究内容 | 第44-45页 |
| ·研究目标 | 第45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第3章 压电惯性摩擦驱动器设计 | 第47-63页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·驱动器基本结构 | 第47-48页 |
| ·位移数据采集 | 第48-51页 |
| ·摩擦表面温度信号采集与温度调节系统设计 | 第51-54页 |
| ·摩擦表面温度信号采集 | 第51-53页 |
| ·摩擦表面温度调节 | 第53-54页 |
| ·摩擦表面压力调整与测量方案设计 | 第54-57页 |
| ·摩擦表面更换方案设计 | 第57-58页 |
| ·控制系统设计 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第4章 压电惯性摩擦驱动器的综合建模 | 第63-94页 |
| ·引言 | 第63页 |
| ·压电驱动器建模 | 第63-71页 |
| ·模型结构 | 第63-68页 |
| ·参数识别 | 第68-71页 |
| ·压电驱动器与驱动块建模 | 第71-77页 |
| ·模型结构 | 第71-72页 |
| ·参数识别 | 第72-77页 |
| ·摩擦模型 | 第77-82页 |
| ·不同摩擦模型对比 | 第77-78页 |
| ·模型结构：LuGre模型的改进 | 第78-80页 |
| ·参数识别 | 第80-82页 |
| ·热效应模型 | 第82-85页 |
| ·模型结构 | 第82页 |
| ·参数识别 | 第82-85页 |
| ·压电惯性摩擦驱动器总模型 | 第85-87页 |
| ·模型验证 | 第87-92页 |
| ·模型对迟滞效应的预测 | 第87-89页 |
| ·模型对系统振动动态特性的预测 | 第89-90页 |
| ·模型对摩擦力的预测 | 第90页 |
| ·模型对热效应的预测 | 第90-92页 |
| ·本章小结 | 第92-94页 |
| 第5章 压电惯性摩擦驱动器的控制 | 第94-131页 |
| ·引言 | 第94页 |
| ·控制总体方案 | 第94-98页 |
| ·步进阶段控制器设计 | 第98-103页 |
| ·步进阶段驱动速度v与驱动电压幅值|U|的关系 | 第98-99页 |
| ·步进阶段控制器--电压比例控制器的设计 | 第99-100页 |
| ·步进阶段控制器的稳定性 | 第100-102页 |
| ·步进阶段控制器仿真 | 第102-103页 |
| ·精密定位控制器(Fine mode controller) | 第103-115页 |
| ·前馈控制器 | 第105-108页 |
| ·前馈控制器仿真验证 | 第108-110页 |
| ·反馈控制器 | 第110-115页 |
| ·控制策略实验验证 | 第115-129页 |
| ·控制器定位控制性能验证 | 第115-119页 |
| ·精密定位阶段控制器轨迹跟踪能力验证 | 第119-129页 |
| ·本章小结 | 第129-131页 |
| 第6章 考虑热效应的压电惯性摩擦驱动器弹恢复性控制 | 第131-138页 |
| ·引言 | 第131页 |
| ·压电惯性摩擦驱动器系统弹恢复性 | 第131-132页 |
| ·压电惯性摩擦驱动器热效应分析 | 第132-133页 |
| ·克服压电惯性摩擦驱动器热效应的弹恢复性控制方案设计 | 第133页 |
| ·控制方案验证 | 第133-136页 |
| ·本章小结 | 第136-138页 |
| 第7章 总结与展望 | 第138-142页 |
| ·研究内容及结论 | 第138-139页 |
| ·创新点 | 第139-140页 |
| ·研究展望 | 第140-142页 |
| 参考文献 | 第142-150页 |
| 致谢 | 第150-151页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第151页 |
