| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·研究背景 | 第8-9页 |
| ·微全分析系统的应用领域 | 第9-11页 |
| ·集成微流控芯片在生命科学中的应用 | 第9页 |
| ·微流控芯片在刑事科学中的运用 | 第9-10页 |
| ·在食品卫生方面的应用 | 第10页 |
| ·在环境检测方面的应用 | 第10页 |
| ·在临床分析中的应用 | 第10-11页 |
| ·微全分析系统所具备的优点 | 第11页 |
| ·制备微流控芯片的材料选择 | 第11-13页 |
| ·芯片材料的选择 | 第12-13页 |
| ·微通道改性 | 第13-14页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 微通道同轴气吹展和光预固化制备NOA61薄膜系统 | 第16-22页 |
| ·系统技术背景 | 第16-17页 |
| ·NOA61胶的特性与应用 | 第17-18页 |
| ·微通道同轴气吹展和光预固化制备NOA61薄膜装置 | 第18-20页 |
| ·面对“变宽度”微通道系统中要解决的关键问题 | 第20页 |
| ·本章小结 | 第20-22页 |
| 第3章 以孔中心为缩放原点面向微通道加工的掩膜装置设计及加工 | 第22-36页 |
| ·传统的掩膜装置 | 第22-23页 |
| ·以孔中心为缩放原点自动调节孔径的激光微加工掩膜装置整体设计 | 第23-25页 |
| ·装置理论介绍 | 第23-24页 |
| ·装置的工作原理 | 第24-25页 |
| ·微米级以孔中心为缩放原点自动调节孔径的掩膜装置各部分设计 | 第25-27页 |
| ·遮光叶片的设计 | 第25-27页 |
| ·套嵌圆环（主动轮和固定轮的设计） | 第27页 |
| ·SolidWorks简介 | 第27-29页 |
| ·SolidWorks功能介绍 | 第28-29页 |
| ·利用SolidWorks对各部分零部件的设计 | 第29-32页 |
| ·利用SolidWorks实现对叶片的设计 | 第29-31页 |
| ·利用SolidWorks实现对套嵌圆环（固定轮和主动轮）的设计 | 第31-32页 |
| ·利用基于AutoCAD激光加工软件控制CO2激光器加工出叶片 | 第32-35页 |
| ·大功率CO2激光器切割 | 第32-33页 |
| ·实际加工 | 第33页 |
| ·叶片加工结果 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 光圈误差的理论分析与实验验证 | 第36-46页 |
| ·关于采用此种叶片的误差分析 | 第36-40页 |
| ·叶片形成图形与圆形之间的差值模拟 | 第36-38页 |
| ·误差值的测量及分析 | 第38-40页 |
| ·通过转动主动轮控制透光孔径大小 | 第40-41页 |
| ·实验验证 | 第41-44页 |
| ·实验设计 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 结论 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |
| 攻读硕士学位期间取得的科研成果 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
