| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| ·课题来源 | 第9页 |
| ·课题研究目的及意义 | 第9-11页 |
| ·光学元件超光滑表面加工技术国内外发展概况 | 第11-16页 |
| ·机械抛光方法 | 第11-13页 |
| ·物理抛光方法 | 第13-14页 |
| ·化学抛光方法 | 第14-16页 |
| ·大气等离子体技术国内外发展概况 | 第16-19页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 大气等离子体发生装置设计及其特性研究 | 第20-34页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·大气等离子体加工原理 | 第20-26页 |
| ·大气等离子体反应机理 | 第20-25页 |
| ·大气等离子体加工系统简介 | 第25-26页 |
| ·等离子体发生装置的改进设计 | 第26-30页 |
| ·第一代同轴结构炬 | 第27-28页 |
| ·第二代平板电极结构炬 | 第28-29页 |
| ·第三代同轴射流炬及改进炬结构 | 第29-30页 |
| ·等离子体炬的特性研究 | 第30-33页 |
| ·大气等离子体射流模式 | 第30-32页 |
| ·大气等离子体接触式放电模式 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 大气等离子体加工对熔石英去除率的主要影响因素研究 | 第34-52页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·大气等离子体加工过程诊断 | 第34-38页 |
| ·大气等离子体光谱测量 | 第35-36页 |
| ·大气等离子体温度测量 | 第36-37页 |
| ·材料去除率测量 | 第37-38页 |
| ·反应气体配比对去除率的影响研究 | 第38-47页 |
| ·射流模式下气体配比对去除率的影响 | 第38-43页 |
| ·接触式加工模式下气体配比对去除率的影响 | 第43-47页 |
| ·其他工艺参数对去除率的影响 | 第47-50页 |
| ·输入功率对去除率的影响 | 第47-48页 |
| ·加工距离对去除率的影响 | 第48-49页 |
| ·加工时间对去除率的影响 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第4章 大气等离子体加工对熔石英表面质量影响研究 | 第52-60页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·大气等离子体加工对表面粗糙度的影响研究 | 第52-56页 |
| ·大气等离子体加工降低表面粗糙度方法猜想 | 第52-54页 |
| ·大气等离子体降低表面粗糙度实验初步验证 | 第54-56页 |
| ·大气等离子体加工对加工变质层的影响研究 | 第56-60页 |
| ·纳米压痕技术简介 | 第56-58页 |
| ·大气等离子体加工无损伤表面实验验证设计 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60页 |
| 结论 | 第60-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |