光子筛光学特性研究
| 致谢 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·前言 | 第9-10页 |
| ·国内外研究进展 | 第10-15页 |
| ·光子筛特性的理论研究 | 第10-11页 |
| ·光子筛优化设计 | 第11-13页 |
| ·光子筛应用研究 | 第13-15页 |
| ·本论文研究内容 | 第15-16页 |
| ·章节安排 | 第16-17页 |
| 2 光子筛衍射理论 | 第17-36页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·菲涅尔波带片成像理论 | 第17-18页 |
| ·光子筛标量衍射模型 | 第18-22页 |
| ·低数值孔径光子筛设计 | 第22-27页 |
| ·入射光源对光子筛成像特性的影响 | 第27-32页 |
| ·光源为点光源情况 | 第28-29页 |
| ·高斯光束垂直入射情况 | 第29-30页 |
| ·高斯光束倾斜入射情况 | 第30-32页 |
| ·光子筛矢量衍射模型 | 第32-33页 |
| ·高数值孔径光子筛优化设计 | 第33-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 3 光子筛偏振特性研究 | 第36-45页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·线偏振光 | 第36-38页 |
| ·径向偏振光 | 第38-40页 |
| ·角向偏振光 | 第40-41页 |
| ·实验验证 | 第41-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 4 光子筛焦深特性研究 | 第45-56页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·普通光子筛的焦深特性 | 第45-48页 |
| ·长焦深光子筛设计 | 第48-55页 |
| ·扇形分区 | 第48-51页 |
| ·环形分区 | 第51-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 5 光子筛像差特性研究 | 第56-66页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·光子筛的色差特性研究 | 第56-64页 |
| ·理论推导 | 第56-59页 |
| ·设计实例 | 第59-64页 |
| ·光子筛的等效波像差模型 | 第64-65页 |
| ·小结 | 第65-66页 |
| 6 光子筛制作方法及加工误差分析 | 第66-83页 |
| ·光子筛制作方法 | 第66-68页 |
| ·光子筛加工误差分析 | 第68-72页 |
| ·小孔半径误差的影响 | 第68-69页 |
| ·小孔中心位置误差的影响 | 第69-70页 |
| ·小孔边缘粗糙度的影响 | 第70-71页 |
| ·小孔椭圆度的影响 | 第71-72页 |
| ·采用步进投影数字光刻技术制作光子筛的方法 | 第72-82页 |
| ·步进数字投影光刻技术 | 第72-75页 |
| ·方孔型光子筛设计 | 第75-78页 |
| ·方孔型光子筛制作流程 | 第78-81页 |
| ·方孔型光子筛聚焦实验 | 第81-82页 |
| ·小结 | 第82-83页 |
| 7 总结与展望 | 第83-85页 |
| ·论文总结 | 第83页 |
| ·论文创新点 | 第83-84页 |
| ·展望 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-93页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第93页 |
