| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 序言 | 第10-20页 |
| ·等离子体简介 | 第10-12页 |
| ·等离子体的应用 | 第12页 |
| ·等离子体放电类型 | 第12-15页 |
| ·容性耦合等离子体放电 | 第12-14页 |
| ·感性耦合等离子体放电 | 第14页 |
| ·螺旋波等离子体放电 | 第14-15页 |
| ·电负性等离子体的研究现状与空心阴极放电系统 | 第15-18页 |
| ·本文研究的意义和主要内容 | 第18-20页 |
| 第二章 实验装置与实验方法 | 第20-24页 |
| ·容性耦合等离子体放电实验装置 | 第20-21页 |
| ·空心阴极射频等离子体放电系统 | 第21-22页 |
| ·实验方法 | 第22-24页 |
| 第三章 电负性等离子体的诊断技术 | 第24-38页 |
| ·朗缪尔静电探针的诊断 | 第24-32页 |
| ·朗缪尔静电探针理论 | 第24-26页 |
| ·朗缪尔静电探针结构 | 第26-27页 |
| ·射频探针补偿电路 | 第27-29页 |
| ·朗缪尔静电探针的分析方法 | 第29页 |
| ·电负性等离子体的电负度测量方法 | 第29-32页 |
| ·微波共振探针的诊断 | 第32-35页 |
| ·发射光谱仪 | 第35-38页 |
| 第四章 电负性等离子体的测量结果与分析 | 第38-48页 |
| ·朗缪尔探针与悬浮型微波共振探针测量的电子密度结果比较 | 第39-40页 |
| ·朗缪尔探针测量的电子能量几率分布函数比较 | 第40-43页 |
| ·朗缪尔探针测量的电子密度与电子温度结果比较 | 第43-47页 |
| ·O_2/Ar、Cl_2/Ar 和 SF_6/Ar 等离子体的电负度对比 | 第47-48页 |
| 第五章 空心阴极放电系统的研究 | 第48-57页 |
| ·空心阴极放电中内壁负偏压随放电参量的影响 | 第48-51页 |
| ·放电功率和气压的影响 | 第48-49页 |
| ·圆筒长径比的影响 | 第49-50页 |
| ·放电气体种类的影响 | 第50-51页 |
| ·等离子体发射光谱的测量 | 第51-52页 |
| ·空心阴极放电中 SF6/O2等离子体对晶硅表面制绒的影响 | 第52-57页 |
| 第六章 总结与展望 | 第57-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 攻读硕士期间公开发表的论文 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
