| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-11页 |
| ·研究目的和意义 | 第7-8页 |
| ·纳米测量技术国内外发展状况 | 第8-9页 |
| ·主要研究内容 | 第9-11页 |
| 第2章 二维纳米位移测量原理 | 第11-13页 |
| 第3章 二维纳米位移测量系统设计 | 第13-21页 |
| ·微悬臂变形检测系统 | 第13-18页 |
| ·微悬臂形变检测光路 | 第14-15页 |
| ·激光器 | 第15页 |
| ·探针 | 第15-16页 |
| ·四象限光电检测器 | 第16-18页 |
| ·压电陶瓷扫描器 | 第18-21页 |
| 第4章 二维纳米位移测量系统控制方法 | 第21-30页 |
| ·X、Y轴的二维控制技术 | 第21-24页 |
| ·位移过程中的Z轴控制技术 | 第24-30页 |
| ·单神经元PID反馈控制 | 第24-27页 |
| ·RBF神经网络PID整定控制法 | 第27-30页 |
| 第5章 二维纳米位移测量仿真 | 第30-40页 |
| ·二维纳米位移测量的试验环境 | 第30页 |
| ·X、Y轴的二维控制仿真 | 第30-32页 |
| ·二维位移Z轴控制 | 第32-40页 |
| 第6章 总结 | 第40-42页 |
| ·工作总结 | 第40页 |
| ·存在的问题及工作展望 | 第40-42页 |
| 参考文献 | 第42-44页 |
| 致谢 | 第44页 |