高温涂层光学特性的研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-7页
第一章 绪论	第7-12页
·引言	第7页
·氮化钛涂层简介	第7-8页
·氧化铝薄膜简介	第8-9页
·本课题的研究意义和内容	第9-12页
第二章 实验原理与方法	第12-20页
·实验研究路线	第12-13页
·薄膜的制备方法	第13-15页
·分析检测方法及装置	第15-20页
第三章 等离子体辅助对氮化钛涂层性能的影响	第20-27页
·基本工艺参数的确定	第20页
·制备氮化钛涂层的基本工艺流程	第20-21页
·等离子体功率对氮化钛薄膜特性的影响	第21-25页
·本章小结	第25-27页
第四章 等离子体辅助对氧化铝薄膜性能的影响	第27-33页
·基本工艺参数的确定	第27页
·制备氧化铝薄膜基本工艺流程	第27-28页
·氧化铝薄膜“迟滞回线”的研究	第28-29页
·等离子体功率对氧化铝薄膜特性的影响	第29-31页
·本章小结	第31-33页
第五章 高温涂层抗氧化特性	第33-38页
·氮化钛涂层高温特性分析	第33-35页
·氧化铝/氮化钛涂层高温特性分析	第35-37页
·本章小结	第37-38页
总结和展望	第38-40页
攻读硕士学位期间发表的学术论文及参与的科研项目	第40-41页
致谢	第41-42页
参考文献	第42-44页