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超高精度非球面面形检测技术研究

摘要第1-7页
Abstract第7-9页
目录第9-13页
第1章 绪论第13-31页
   ·课题研究背景及意义第13-15页
   ·非球面的一些基本定义第15-19页
     ·非球面方程第15-16页
     ·非球面最佳拟合球与偏离度第16-18页
     ·非球面偏离度斜率第18-19页
   ·非球面的检测方法第19-28页
     ·轮廓测量法第19-21页
     ·干涉测量法第21-28页
   ·论文的主要研究内容和结构安排第28-31页
     ·研究对象第28页
     ·论文工作的主要内容第28-29页
     ·论文的结构安排第29-31页
第2章 计算全息图的设计第31-51页
   ·计算全息图的原理第31-32页
   ·计算全息图的分类第32-33页
   ·线性光栅模型第33-34页
   ·计算全息图的衍射效率第34-36页
     ·相位型计算全息图的衍射效率第34-36页
     ·振幅型计算全息图的衍射效率第36页
   ·计算全息图的设计第36-47页
     ·相位与空间频率的关系第36-37页
     ·相位计算法第37页
     ·空间频率计算法第37-38页
     ·计算实例第38-41页
     ·计算全息图的鬼像第41-47页
   ·用于辅助调节的计算全息图第47-48页
   ·CGH 设计软件第48-49页
   ·本章小结第49-51页
第3章 用计算全息图对非球面检测的误差分析第51-91页
   ·计算全息图的基底误差第51-60页
     ·基底透射波前误差及标定方法第51-54页
     ·基底的厚度误差第54-57页
     ·基底的楔角第57-59页
     ·基底的折射率误差第59-60页
   ·计算全息图的刻蚀误差第60-62页
     ·编码误差第60页
     ·刻蚀畸变第60-62页
     ·刻蚀深度及占空比误差第62页
   ·用计算全息图检测非球面引入的成像畸变第62-69页
     ·畸变模型第63-64页
     ·畸变校正方法第64-65页
     ·仿真分析第65-68页
     ·实验验证第68-69页
   ·温度和压强波动引入的误差第69-72页
     ·激光波长改变引入的误差第69-71页
     ·材料相对折射率改变引入的误差第71-72页
   ·用计算全息图检测非球面引入的调整误差第72-80页
     ·非球面引入的调整误差第73-76页
     ·非球面位置误差的灵敏度矩阵第76-78页
     ·计算全息图位置误差的灵敏度矩阵第78-79页
     ·调整误差的控制方法第79-80页
   ·非球面的顶点曲率半径第80-83页
     ·顶点曲率半径偏差引入的波面误差第80-81页
     ·非球面顶点曲率半径的测量第81-83页
   ·多角度平均法第83-85页
   ·检测误差汇总第85页
   ·非球面检测结果第85-89页
     ·CGH 基底检测结果第86-87页
     ·CGH 的调节第87-88页
     ·畸变校正第88-89页
     ·非球面检测结果第89页
   ·本章小结第89-91页
第4章 补偿镜的设计及误差分析第91-103页
   ·补偿镜的结构第91-94页
     ·Offner 补偿镜第91-92页
     ·Dall 和 Shafer 补偿镜第92-93页
     ·采用平行光照射的改进型 Dall 和 Shafer 补偿镜第93-94页
   ·补偿镜结构选取第94页
   ·设计剩余残差第94-96页
   ·补偿镜的加工公差和光学复算第96-97页
   ·补偿镜的装配公差和设计复算第97-98页
   ·材料公差第98-100页
     ·材料折射率第99页
     ·材料折射率均匀性第99-100页
   ·补偿镜的检测公差第100页
   ·环境温度和压强的波动公差第100页
   ·补偿镜的调节公差第100页
   ·补偿镜的公差分配第100-101页
   ·本章小结第101-103页
第5章 检测结果比对与实验验证第103-113页
   ·无像差点法第103-110页
     ·检测方案第103-104页
     ·尺度变换因子第104-105页
     ·旋转三平板法第105-108页
     ·随机小球平均法第108-110页
     ·无像差点法检测结果第110页
   ·CGH 法第110-112页
     ·CGH 设计第110-111页
     ·CGH 法的检测结果第111-112页
   ·本章小结第112-113页
第6章 结论与展望第113-115页
   ·论文的研究成果第113-114页
   ·论文的创新点第114页
   ·研究展望第114-115页
参考文献第115-125页
在学期间学术成果情况第125-127页
指导老师及作者简介第127-129页
致谢第129页

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