一种新结构介观压光型机电器件设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 1 绪论 | 第10-15页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究动态 | 第11-13页 |
| ·MEMS 加速度计的应用 | 第11-12页 |
| ·MEMS 加速度计发展趋势 | 第12-13页 |
| ·本论文研究内容 | 第13-15页 |
| 2 微电子机械系统 | 第15-23页 |
| ·MEMS 制造技术 | 第15-19页 |
| ·体硅加工技术 | 第15-17页 |
| ·表面硅加工技术 | 第17-18页 |
| ·铸模技术 | 第18-19页 |
| ·微机械加速度传感器 | 第19-22页 |
| ·MEMS 加速度的基本原理 | 第19-20页 |
| ·加速度计的数学模型 | 第20-21页 |
| ·MEMS 加速度计的分类 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 3 微梁直拉直压结构的设计原理 | 第23-38页 |
| ·加速度计的结构 | 第23-28页 |
| ·单悬臂梁结构 | 第23-25页 |
| ·双悬臂梁结构 | 第25-28页 |
| ·微梁直拉直压结构 | 第28-29页 |
| ·微梁直拉直压检测 | 第29-30页 |
| ·结构的力学模型分析 | 第30-33页 |
| ·传感器自由振动频率 | 第33-34页 |
| ·结构的有限元模拟 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 4 介观尺度下的光子晶体检测 | 第38-60页 |
| ·光子晶体概述 | 第38-42页 |
| ·光子晶体的含义 | 第38-39页 |
| ·光子晶体的结构 | 第39-42页 |
| ·光子晶体的理论计算方法 | 第42-45页 |
| ·平面波展开法 | 第42页 |
| ·传输矩阵法 | 第42-45页 |
| ·多重散射法 | 第45页 |
| ·时域有限差分法 | 第45页 |
| ·光子晶体的制备 | 第45-49页 |
| ·光子晶体的应用 | 第49-52页 |
| ·光子晶体光纤和光子晶体波导 | 第50-51页 |
| ·光子晶体滤波器 | 第51页 |
| ·光子晶体微波天线 | 第51-52页 |
| ·光子晶体传感器 | 第52页 |
| ·光子晶体新型结构应用 | 第52-54页 |
| ·负折射率光子晶体 | 第53页 |
| ·等离子体光子晶体 | 第53-54页 |
| ·准周期光子晶体 | 第54页 |
| ·介观效应 | 第54-59页 |
| ·介观压阻效应 | 第55页 |
| ·介观压光效应 | 第55-56页 |
| ·介观条件下的具体应用 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 5 镜像异质三周期光子晶体加速度传感器的设计 | 第60-67页 |
| ·镜像异质三周期光子晶体 | 第60-63页 |
| ·加速度计分辨率和测量范围的理论计算 | 第63-65页 |
| ·介观压光型加速度计的横向比较 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 6 总结展望 | 第67-70页 |
| ·总结 | 第67-68页 |
| ·研究展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
