| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| ·MEMS 加速度传感器标定方法概述 | 第11-15页 |
| ·传感器标定的目的及意义 | 第11-12页 |
| ·传感器标定方法分类 | 第12-13页 |
| ·绝对标定法和比较标定法 | 第12-13页 |
| ·静态标定法和动态标定法 | 第13页 |
| ·MEMS 加速度传感器常用标定方法简介 | 第13-15页 |
| ·MEMS 加速度传感器自标定的产生和发展 | 第15页 |
| ·本文的研究目的 | 第15-17页 |
| ·高精度 MEMS 加速度传感器的动态自标定方法研究 | 第15-16页 |
| ·电容边缘效应对高精度 MEMS 加速度传感器自标定影响分析 | 第16页 |
| ·DRIE 工艺对高精度 MEMS 加速度传感器自标定影响分析 | 第16-17页 |
| ·一种新型的带自标定功能的高精度 MEMS 加速度传感器设计 | 第17页 |
| ·本文主要研究内容及工作安排 | 第17-19页 |
| 第2章 高精度 MEMS 加速度传感器自标定的理论基础 | 第19-31页 |
| ·电容式传感器基本原理 | 第19-23页 |
| ·变间距式 | 第19-22页 |
| ·变面积式 | 第22-23页 |
| ·电容式传感器静电驱动原理 | 第23-25页 |
| ·变间距式 | 第23-24页 |
| ·变面积式 | 第24页 |
| ·电容式静电驱动的优缺点 | 第24-25页 |
| ·MEMS 加速度传感器的自标定理论 | 第25-30页 |
| ·加速度传感器的基本数学模型 | 第25-26页 |
| ·开环工作状态下传感器的自标定原理 | 第26-28页 |
| ·闭环工作状态下传感器的自标定原理 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 电容边缘效应对自标定影响分析 | 第31-39页 |
| ·电容边缘效应 | 第31-32页 |
| ·电容边缘效应理论概述 | 第31-32页 |
| ·电容边缘效应对静电驱动的影响分析 | 第32页 |
| ·电容边缘效应对自标定的影响分析 | 第32-35页 |
| ·开环工作状态下电容边缘效应对自标定的影响分析 | 第32-33页 |
| ·闭环工作状态下电容边缘效应对自标定的影响分析 | 第33-35页 |
| ·结果分析 | 第35-38页 |
| ·传感器模型 | 第35页 |
| ·开环工作状态下传感器的自标定结果分析 | 第35-37页 |
| ·闭环工作状态下传感器的自标定结果分析 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 DRIE 工艺对自标定影响分析 | 第39-46页 |
| ·DRIE 工艺误差概述 | 第39-40页 |
| ·倾斜梳齿对传感器自标定的影响分析 | 第40-42页 |
| ·开环工作状态下倾斜梳齿对传感器自标定的影响 | 第40-41页 |
| ·闭环工作状态下倾斜梳齿对传感器自标定的影响 | 第41-42页 |
| ·结果分析 | 第42-45页 |
| ·开环工作状态下倾斜梳齿对传感器自标定的影响 | 第42-44页 |
| ·闭环工作状态下倾斜梳齿对传感器自标定的影响 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 一种含自标定功能的微惯性传感器 | 第46-54页 |
| ·传感器结构设计的目的及意义 | 第46页 |
| ·传感器结构整体构设计 | 第46-50页 |
| ·静电驱动器原理 | 第48-49页 |
| ·电容检测原理 | 第49页 |
| ·传感器的参数设计 | 第49-50页 |
| ·有限元分析 | 第50-53页 |
| ·模态分析 | 第50-51页 |
| ·灵敏度分析 | 第51-52页 |
| ·静电驱动器对自标定影响分析 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第6章 总结与展望 | 第54-56页 |
| ·论文总结 | 第54-55页 |
| ·论文中的不足与展望 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 附录 | 第60页 |
