| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·硬质涂层 | 第8-12页 |
| ·硬质涂层材料的发展 | 第8-11页 |
| ·硬质涂层材料 | 第11页 |
| ·硬质涂层的制备技术 | 第11-12页 |
| ·TiCN涂层及制备技术 | 第12-18页 |
| ·TiCN涂层 | 第12页 |
| ·阴极真空电弧离子镀技术 | 第12-17页 |
| ·磁控溅射技术 | 第17页 |
| ·直流叠加脉冲偏压技术 | 第17-18页 |
| ·论文研究目的和主要内容 | 第18-19页 |
| 第二章 实验设备与方法 | 第19-23页 |
| ·实验设备 | 第19页 |
| ·基底的制备和预处理 | 第19-20页 |
| ·涂层的制备工艺及参数设定 | 第20-21页 |
| ·涂层的表征 | 第21-23页 |
| ·涂层的沉积速率 | 第21页 |
| ·涂层的显微硬度 | 第21-22页 |
| ·X射线分析(XRD) | 第22页 |
| ·涂层的表面形貌(SEM) | 第22-23页 |
| 第三章 脉冲偏压对TiCN涂层结构和性能的影响 | 第23-31页 |
| ·TiCN涂层的沉积速率 | 第23-25页 |
| ·TiCN涂层的表面形貌 | 第25-27页 |
| ·TiCN涂层的相组成 | 第27-28页 |
| ·TiCN涂层的力学性能 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 叠加偏压中直流部分对TiCN涂层结构和性能的影响 | 第31-39页 |
| ·TiCN涂层的成膜速率 | 第31-33页 |
| ·TiCN涂层的表面形貌 | 第33-35页 |
| ·TiCN涂层的相组成 | 第35-36页 |
| ·TiCN涂层的力学性能 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第五章 占空比对TiCN涂层性能的影响研究 | 第39-45页 |
| ·TiCN涂层的成膜速率 | 第39-41页 |
| ·TiCN涂层的表面形貌 | 第41-42页 |
| ·TiCN涂层的相组成 | 第42-43页 |
| ·TiCN涂层的力学性能 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第六章 结论 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第49-50页 |
| 攻读硕士期间获得的奖励 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51页 |