| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·铁电材料概述 | 第10-14页 |
| ·铁电陶瓷材料 | 第13页 |
| ·铁电薄膜材料 | 第13-14页 |
| ·本文所涉及主要材料简介 | 第14-18页 |
| ·BTO性质特点及研究进展 | 第15-16页 |
| ·BFO性质特点及研究进展 | 第16-18页 |
| 第二章 实验方法及主要原理 | 第18-24页 |
| · | 第18-20页 |
| ·铁电陶瓷材料制备方法及特点比较 | 第18-19页 |
| ·铁电薄膜材料制备方法及特点比较 | 第19-20页 |
| ·本文中主要用到的铁电材料表征的特点及原理 | 第20-24页 |
| 第三章 样品的制备 | 第24-28页 |
| ·不同氧压下生长BTO薄膜 | 第24-26页 |
| ·STO基片表面处理及不同厚度的BFO超薄膜的生长 | 第26页 |
| ·不同缓冲层的BFO薄膜的生长 | 第26-28页 |
| 第四章 实验结果与分析 | 第28-40页 |
| ·不同氧压下生长BTO薄膜的结果与分析 | 第28-32页 |
| ·BTO薄膜的XRD测试结果及分析 | 第28-32页 |
| ·在处理后的STO基片上生长不同厚度的BFO | 第32-35页 |
| ·STO基片台阶表面的处理 | 第32-33页 |
| ·不同厚度的BFO薄膜表面形貌的比较 | 第33-35页 |
| ·不同缓冲层BFO薄膜的实验结果及分析 | 第35-40页 |
| 第五章 总结与展望 | 第40-42页 |
| ·实验结果与总结 | 第40页 |
| ·展望 | 第40-42页 |
| 参考文献 | 第42-46页 |
| 硕士在读期间发表的论文 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47页 |