条纹法则测量薄膜厚度技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| ·薄膜的发展及应用 | 第8页 |
| ·薄膜厚度测量的几种方法 | 第8-11页 |
| ·棱镜耦合法 | 第9页 |
| ·椭圆偏振法 | 第9-10页 |
| ·光谱法 | 第10页 |
| ·光干涉法 | 第10-11页 |
| ·几种方法的比较 | 第11页 |
| ·课题的研究目的及意义 | 第11-12页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第12-13页 |
| 2 条纹法测量薄膜厚度的原理及过程 | 第13-19页 |
| ·条纹法测量薄膜厚度的原理 | 第13-15页 |
| ·条纹法测量薄膜厚度的测试过程 | 第15-18页 |
| ·干涉条纹图像的采集 | 第15-17页 |
| ·干涉条纹图像的处理过程 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 3 条纹法测量薄膜厚度的关键技术 | 第19-48页 |
| ·干涉图像去噪 | 第19-24页 |
| ·空间域去噪方法 | 第19-21页 |
| ·变换域去噪算法 | 第21-24页 |
| ·图像二值化算法 | 第24-33页 |
| ·图像分割的数学表述 | 第24-25页 |
| ·图像分割一般方法 | 第25-30页 |
| ·Otsu图像分割方法 | 第30-33页 |
| ·图像细化算法 | 第33-45页 |
| ·并行细化算法 | 第33-35页 |
| ·串行细化算法 | 第35-37页 |
| ·数学形态学细化算法 | 第37-44页 |
| ·细化图像的修像 | 第44-45页 |
| ·最小二乘法拟合条纹 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 4 实验结果与分析 | 第48-57页 |
| ·薄膜样片的制备 | 第48-49页 |
| ·干涉条纹图像的处理 | 第49-56页 |
| ·一号薄膜样片的测试结果及分析 | 第50-53页 |
| ·二号薄膜样片的测试结果及分析 | 第53-54页 |
| ·三号薄膜样片的测试结果及分析 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 5 结论 | 第57-58页 |
| ·全文总结 | 第57页 |
| ·后期的工作和展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
