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钛酸钡/钛酸锶多层铁电薄膜微观结构的研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-11页
第一章 绪论第11-23页
   ·引言第11-12页
   ·铁电材料概述第12-13页
   ·钙钛矿型铁电材料的结构第13-19页
     ·钙钛矿型铁电材料的性质第15-17页
     ·铁电薄膜的微观结构缺陷第17-19页
   ·铁电薄膜材料的研究进展第19-21页
   ·论文研究目的和意义第21-23页
第二章 钛酸钡/钛酸锶陶瓷薄膜的制备及主要研究手段第23-37页
   ·引言第23-24页
   ·钛酸钡(BTO)/钛酸锶(STO)薄膜的制备第24-25页
     ·实验装置第24页
     ·工作原理第24-25页
     ·脉冲激光沉积的特点第25页
     ·实验过程第25页
   ·薄膜透射样品的制备第25-30页
     ·实验材料第26页
     ·实验仪器第26-27页
     ·截面样品的制备第27-30页
     ·平面样品的制备第30页
   ·薄膜样品的表征方法第30-36页
     ·透射电镜及其工作原理第30-33页
     ·扫描电镜第33-34页
     ·X 射线衍射(XRD)第34-35页
     ·原子力显微镜第35-36页
   ·本章小结第36-37页
第三章 钛酸钡/钛酸锶多层薄膜微观结构及其生长方式研究第37-50页
   ·引言第37页
   ·薄膜基体的取向关系第37-41页
   ·多层薄膜内部缺陷分析第41-45页
     ·氧化镁与钛酸钡界面第41-44页
     ·钛酸钡与钛酸锶界面第44-45页
   ·薄膜生长方式的研究第45-49页
   ·本章小结第49-50页
第四章 陶瓷薄膜的极化实验以及 HRTEM 和 HAADF 结合的相模拟第50-62页
   ·引言第50-51页
   ·腐蚀实验的操作第51-52页
     ·实验原料及设备第51页
     ·陶瓷样品的切割及清洗第51-52页
     ·钛酸钡/钛酸锶陶瓷薄膜的腐蚀第52页
   ·极化现象的SEM表征第52-54页
   ·HRTEM 和 HAADF 结合对缺陷结构的相模拟第54-60页
     ·钛酸钡/钛酸锶界面失配位错的原子结构模拟第54-58页
     ·钛酸钡薄膜内部层错的原子结构模拟第58-60页
   ·本章小结第60-62页
第五章 结论第62-64页
参考文献第64-73页
致谢第73-74页
附录 A(攻读学位期间发表的论文)第74页

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