| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·课题来源及研究意义 | 第9-10页 |
| ·国内外测厚技术的研究概况 | 第10-18页 |
| ·本文基本结构 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 2 总体方案设计 | 第20-26页 |
| ·涂膜测厚仪设计要求 | 第20-21页 |
| ·涂膜测厚仪测量原理 | 第21-24页 |
| ·涂膜测厚仪系统组成 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 机械结构设计 | 第26-41页 |
| ·机械结构总体方案 | 第26-28页 |
| ·机架 | 第28-29页 |
| ·激光测头自校准装置 | 第29-33页 |
| ·涂膜箔片传送装置 | 第33-36页 |
| ·涂膜测厚机构 | 第36-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 测控系统设计 | 第41-51页 |
| ·测控系统硬件设计 | 第41-46页 |
| ·测控系统软件设计 | 第46-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 实验验证 | 第51-55页 |
| ·实验目的 | 第51页 |
| ·实验条件 | 第51-52页 |
| ·实验内容与结果分析 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 6 总结与展望 | 第55-57页 |
| ·全文总结 | 第55页 |
| ·本文创新点 | 第55-56页 |
| ·工作展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |