激光束漂移量的反馈控制执行系统的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| ·课题的背景与意义 | 第9-11页 |
| ·国内外微定位驱动技术的研究现状 | 第11-13页 |
| ·柔性支撑——压电陶瓷驱动的微位移工作台 | 第12页 |
| ·超磁致伸缩驱动的微位移工作台 | 第12-13页 |
| ·其他形式的微位移工作台 | 第13页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 激光束漂移量的反馈控制执行系统的设计 | 第15-29页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·激光束漂移量反馈控制的原理分析 | 第15-19页 |
| ·漂移量分离控制的原理分析 | 第16-17页 |
| ·组平行镜和角反射镜的控制原理 | 第17-19页 |
| ·系统反馈控制执行机构的设计 | 第19-28页 |
| ·闭环反馈控制执行机构 | 第21-22页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的设计原理 | 第22-25页 |
| ·柔性铰链系统的理论模型 | 第25-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 压电陶瓷驱动电源系统的研制 | 第29-45页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的结构设计 | 第29-30页 |
| ·高压整流稳压环节的设计 | 第30-33页 |
| ·集成稳压电路的设计 | 第31-32页 |
| ·倍压整流稳压电路的设计 | 第32-33页 |
| ·低压控制环节的设计 | 第33-38页 |
| ·低压控制环节电路的设计 | 第34-35页 |
| ·防自激相位补偿电路的设计 | 第35-38页 |
| ·高压控制环节的设计 | 第38-42页 |
| ·开关环节与高低压隔离的设计 | 第38-40页 |
| ·高压充放电电路的设计 | 第40-42页 |
| ·驱动电源的控制模型分析 | 第42-44页 |
| ·数字接口环节的设计 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 基于柔性铰链的执行机构的研制 | 第45-64页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·二维精密微位移工作台的设计 | 第45-51页 |
| ·柔性铰链的参数分析 | 第45-46页 |
| ·柔性铰链的刚度设计 | 第46-47页 |
| ·柔性铰链弱截面处的最大应力设计 | 第47-48页 |
| ·微位移工作台的固有频率设计 | 第48-50页 |
| ·微位移工作台的设计 | 第50-51页 |
| ·微位移工作台的有限元分析 | 第51-56页 |
| ·有限元验证 | 第51-52页 |
| ·有限元分析 | 第52-54页 |
| ·有限元静态分析的结果 | 第54-55页 |
| ·有限元固有频率分析的结果 | 第55-56页 |
| ·压电陶瓷驱动器的特性研究 | 第56-58页 |
| ·Preisach模型对非线性滞回效应的补偿 | 第58-61页 |
| ·执行机构的控制方法设计 | 第61-63页 |
| ·加入前馈环节的执行机构的控制模型 | 第61-62页 |
| ·控制算法的实现 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第5章 系统实验及数据分析 | 第64-81页 |
| ·引言 | 第64-65页 |
| ·驱动控制系统的性能实验 | 第65-75页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的静态实验 | 第65-69页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的线性实验 | 第69-71页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的分辨率实验 | 第71-72页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的动态实验 | 第72-74页 |
| ·数字输出接口的精度实验 | 第74-75页 |
| ·微位移工作台的定位精度实验 | 第75-78页 |
| ·压电陶瓷的开环非线性实验 | 第75-76页 |
| ·基于Preisach模型的定位实验 | 第76-78页 |
| ·微位移工作台的频响实验 | 第78-79页 |
| ·系统的误差分析 | 第79-80页 |
| ·压电陶瓷驱动电源系统的误差分析 | 第79-80页 |
| ·开环控制下的系统定位误差分析 | 第80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 结论 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-88页 |
| 致谢 | 第88页 |
